Описание
Характеристики
Информация для заказа
Особенности и преимущества:
- Производительность до 100 ст. л/ мин.
- Нейтрализация силана >99%
- Очистка от твердых частиц >99%
- Низкий расход воздуха на уплотнения
- Выходной патрубок адаптирован для подключения
- следующей ступени очистки
- Не требуется охлаждающая вода или топливо
- Очень компактные размеры
Обрабатываемые вещества:
- Силан
- Тетраэтоксисилан (ТЭОС)
- Дихлорсилан
- Алкилфосфин (фосфин, фосфористый водород)
- Аммиак
- Вольфрам
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Ebara |
| Страна производитель | Япония |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте


Отправка с 13 июня 2026