Преимущества
- Низкая стоимость владения
- Максимально длинные интервалы между обслуживанием
- Быстрое техническое обслуживание
- Рекордно высокая эффективность
- Быстрый выход на режим
- Высочайшая надежность
Применения
- EPI (высокий поток/Солнечные панели)
- Фотовольтаика
- Напыление кремния, диселенида галлия-индия-меди
- Производство солнечных батарей
- Очистительные процессы
- Вентиляция газораспределительных станций
- NH3 обработка
Основные характеристики
- Подогреваемый входной фланец с тефлоновой вставкой
- Полностью автоматический PLC блок управления
- 5,000 стандартных литров в минуту – максимальная производительность
Серия скрубберов Airgard имеют подтвержденную временем высокую эффективность, непревзойденную надежность, и самые низкие эксплуатационные затраты за более чем 20-летнюю историю применения в полупроводниковой промышленности. Паровые скрубберы данной серии увеличивают период продуктивной эксплуатации основного оборудования за счет сокращения времени технического простоя скруббера практически до нуля. В настоящее время среди скрубберов Airgard появилась также модель с повышенной производительностью POU, удовлетворяющая растущим требованиям производителей солнечных батарей. Модель Cyclone XL сочетает в себе все возможные технические преимущества влажных скрубберов существующих в настоящий момент на рынке, а также имеет рекордную производительность в 5000 стандартных литров в минуту. Скрубберы серии Airgard – это всегда максимальная эффективность и минимальное техническое обслуживание возможное в отрасли.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Ebara |
| Страна производитель | Япония |
- Цена: Цену уточняйте


Отправка с 13 июня 2026