Водосорбционный скруббер Cyclone Ebara

Особенности и преимущества:

• Конический эдуктор.Позволяет поддерживать небольшое разряжение на выхлопе (на уровне 1”-2” водяного столба)
• Набивная колонка. Конечная обработка. Не требует технического обслуживания или замены
• Напуск свежей воды. Стратегическая ступень, повышающая эффективность, уменьшающая потребление воды и уменьшающая образование пены
• Отходная часть. Уникальный всасывающий насос, дренажная система и система напуска воды, предотвращают образование пены, застой жидкости и минимизирует потребление воды
• Система впуска газа. Специальная система впуска газа минимизирует степень сужения, а автоматический плунжер напускного фланца позволяет удалять загрязнения без прерывания процесса
• Вторая очистная камера. Пять струй мелкодисперсного аэрозоля, создаваемых высокоскоростными соплами, обеспечивают эффективное удаление загрязнений
• Первая очистная камера. Мелкодисперсный аэрозоль, подаваемый под напором покрывает камеру и удаляет основное загрязнение
• Насос. Коррозионностойкий, высокопроизводительный, имеет высокий ресурс. Прокачивает 160 л/м.
• Небольшая площадь основания 24 ½” X 32 ½”

Исполнение Epi

Скруббер Cyclone - это премиальная модель, включающая все возможные преимущества, благодаря которым данная модель может быть заявлена как машина, не допускающая простоя, связанного с ней оборудования. Одними из таких преимуществ Airgard является наличие специального устройства впуска газа, которое позволяет минимизировать образование отложений и автоматический плунжер напускного фланца, который позволяет увеличить интервал между техническими обслуживаниями до 6 месяцев. Cyclone имеет блок управления на основе PLC контроллера, который может быть установлен удаленно. Блок управления отслеживает такие параметры как уровень воды, поток свежей воды, поток рециркуляционного насоса и статус плунжера напускного клапана. Плунжер может быть приведен в действие вариацией различных условий, включающих фиксированный интервал времени, высокое давление или/и сигнал с приборной панели. Блок управления имеет сухой контакт, который позволяет пользователю соединить его панель управления со скруббером. Пользователь может соединить выходной сигнал с аудио сигналом, предупреждающим световым сигналом или входным сигналом реактора скруббера. Кроме того, благодаря режиму ожидания, блок управления позволяет сократить потребление электроэнергии и воды, в то время когда реактор не пропускает коррозионные газы. В режиме ожидания потребление воды сокращается с 2,3 - 13,5 л воды в минуту до 4,5 л воды в час.

Исполнение Poly Etch/CVD

Модель Cyclone для процессов травления и химического осаждение из газовой фазы (CVD) имеет все функции модели Cyclone Epi. Из-за низкого потока газов в данных процессах, данная модель имеет до 4 напускных фланцев на каждом скруббере.

Исполнение с подогреваемым входным фланцем

В процессе металлического травления и некоторых процессов химического осаждение из газовой фазы имеет место процесс формирования отложений, основанный на явлении конденсации на холодной поверхности, поэтому в данной модели реализована специально разработаная система предотвращения образования таких отложений. Модель Cyclone с подогреваемым входным фланцем имеет специальный подогреваемый фланец с вкладкой из тефлона, минимизирующий осаждения частиц, таких как хлорид алюминия возникающий в процессе химического осаждения нитрида кремния. Температура внутренней поверхности нагреваемого входного фланца Cyclone контролируется блоком управления для приведения в соответствие с температурой нагреваемых линий выхлопа насоса. Модель Cyclone с подогреваемым входным фланцем имеет все функции модели Epi Cyclone, а также предлагает до 4х входных фланцев на каждом скруббере.