Универсальная установка напыления тонких пленок HHV Auto306 для НИОКР

Описание:

Установка напыления тонких пленок HHV Auto306 - универсальная система для напыления тонких пленок, предназначена для широкого круга применений в исследовательских лабораториях. Установка HHV Auto306 используется с различными вакуумными системами, камерами и устройствами термического напыления, которые подбираются и настраиваются в соответствии с Вашими задачами. Компания HHV выпускает установки напыления тонких пленок HHV Auto306 по английской технологии Edwards, что гарантирует высочайшее качество и надежность.

Технологическое оборудование:

• Стеклянный вакуумный колпак, стеклянная цилиндрическая или прямоугольная камера из нержавеющей стали на выбор
• Один или несколько резистивных источников
• Резистивный источник на четырехпозиционном поворотном столике
• Компактный четырех-тигельный электронно-лучевой источник EB3 мощностью 3кВт
• Терморегулируемые источники органических материалов электронной чистоты
• Сочетание электронно-лучевых и резестивных испарителей
•  Неподвижные и поворотные подложкодержатели
• Устройство нагрева подложки
• Заслонки источника
• Очистка в тлеющем разряде
• Контроль толщины пленки

HHV Auto306 для электронной микроскопии

В зависимости от потребностей заказчика, установка HHV Auto306 может быть оснащена различными полноразмерными камерами, технологическим оборудованием и вакуумными системами. Благодаря этому, специалисты в области электронной микроскопии получают гибкий инструмент, дающий возможность использовать целый спектр методов, дополняющих самые передовые технологий ПЭМ и СЭМ.

Технологическое оборудование

• Резистивные источники испарения металлов для СЭМ
• Источник с угольным стержнем для ПЭМ, испарение углеродного волокна для ПЭМ
• Комбинированные системы для ПЭМ и СЭМ
• Конфигурации с испарением вверх или вниз
• Заслонка источника с ручным или электрическим приводом
• Очистка в тлеющем разряде
• Контроль толщины пленки

Подложкодержатель Rotatilt 3 с возможностью вращения и изменения угла наклона включает в себя

•  Стандартный держатель сетки для ПЭМ
•  Магнитный держатель сетки для ПЭМ
•  Планетарный подложкодержатель для шести стандартных столиков СЭМ
•  Плоский подложкодержатель диаметром 80 мм для 3-мерных образцов

Компания HHV также занимается изготовлением систем по техническим условиям заказчика для тех пользователей, которые предъявляют более строгие требования. Для получения более подробной информации обращайтесь к специалистам «ЭмЭсЭйч Техно», являющейся официальным представителем компании HHV в России.

Функциональные характеристики установки HHV Auto306

Вакуумные установки

• Диффузионный насос производительностью 600 л/с
• Турбомолекулярный насос производительностью 250 л/с
• Турбомолекулярный насос производительностью 500 л/с
•  Пластинчато-роторный насос с масляным уплотнением производительностью 14,3 м3/ч и ловушка, охлаждаемая жидким азотом, в стандартной комплектации
• Дополнительные возможности использования безмасляного спирального насоса и турбомолекулярного насоса на магнитном подвесе

Камеры:

• Куполообразный стеклянный вакуумный колпак с дополнительной возможностью подъема купола
• Стеклянный цилиндр с алюминиевой верхней плитой и дополнительной возможностью установки противовеса верхней плиты
• Прямоугольная камера фронтальной загрузки FL400 со смотровым окном диаметром 100мм и футеровкой камеры

Средства управления и обеспечения безопасности:

• Контроллер системы на базе ПЛК с сенсорным дисплеем для управления вакуумной установкой
• Автоматический высоковакуумный клапан служит для защиты насосов и технологического процесса
• Комплексные блокировочные устройства обеспечивают максимальную безопасность оператора
• Auto306 имеет маркировку ЕС

Планируемая модернизация:

• Функциональная особенность модульной конструкции Auto306 состоит в том, что конфигурацию этой установки можно изменить или модернизировать при помощи дополнительного оборудования, поскольку со временем требования меняются