Система для проверки полупроводниковых пластин после нарезки Chroma ATE 7940
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Особенности
- Возможность одновременной двусторонней проверки;
- Область пластины 15,24 см/область проверки 20,32 см;
- Автоматическое выравнивание пластины;
- Идентификация формы/краев пластины;
- Уникальный алгоритм обнаружения дефектов;
- Универсальные критерии определения дефектов;
- Полная классификация дефектов;
- Процент обнаружения дефектов более 99 %;
- Карта годности кристаллов на полупроводниковой пластине.
Описание
Chroma 7940 – это система для автоматического контроля полупроводниковых пластин после нарезки, которая обеспечивает одновременную проверку верхней и нижней части пластины. Передовая технология подсветки, система сбора изображения с цветной камерой позволяют настроить систему для различных процессов обработки пластин и тестовых конфигураций, таких как проверка вертикальных чипов и чипов с шариковыми выводами.
|
Модель |
7940 |
|
Подходящие типы кристаллов и интегральных модулей |
|
|
Применяемое кольцо |
Держатель зажимного кольца или держатель пластины |
|
Область контроля |
20,32 см |
|
Размер кристалла |
125 мкм x 125 мкм ~ 2.2 мм x 2.2 мм при пятикратном увеличении |
|
Высота кристалла |
1 мкм ~ 1.5 мм |
|
Допустимые корпуса |
Вертикальный LED кристалл, чип с шариковыми выводами, VCSEL |
|
Контроль |
|
|
Камера |
Две цветных камеры 25M |
|
Подсветка |
Осевая LED подсветка, кольцевая подсветка, задняя подсветка |
|
Увеличения |
Несколько режимов увеличения на выбор: 2X, 5X |
|
Пропускная способность |
2 минуты для пластины размером 5,08 см с двумя режимами подсветки |
|
Разрешение |
1.28 мкм/пиксель (2X), 0.5 мкм/ пиксель (5X) |
|
Алгоритм |
- дефект контактной площадки, дефект мезаструктуры, дефект монтажа кристаллов, дефект излучающей области - интерфейс для замены или добавления новых алгоритмов контроля |
|
Система |
|
|
Загрузка/разгрузка |
Три автоматических кассеты |
|
Компенсация коробления |
Программная автофокусировка для преодоления деформации пластины |
|
Компьютер |
1 набор |
|
Функции программного обеспечения |
|
|
Монитор |
Отображение карты годности кристаллов на полупроводниковой пластине |
|
Сохранение изображений |
Сохранения целого изображения либо изображения дефектов |
|
Отчетность |
Включает расположение кристалла, тип дефекта, результаты проверки |
|
Выбор кассеты |
Программируемый выбор и управление кассетой |
|
Требования к площадке |
|
|
Размеры (ШxГxВ) |
1950 мм x 1650 мм x 1750 мм |
|
Вес |
2000 кг |
|
Параметры питания |
AC 220 В ± 10%, 50/60 Гц, 1 фаза, 3 кВт |
|
Сжатый воздух |
0.6 МПа |
|
Температура |
+5ºC ~ 40ºC |
|
Относительная влажность |
20%~60% |
| Основные атрибуты | |
|---|---|
| Производитель | Chroma ATE |
| Страна производитель | Китай |
- Цена: Цену уточняйте
