Система совмещения и экспонирования фотошаблона с подложкой EVG IQ Aligner® NT

Система оптимизирована для бесконтактного совмещения с наивысшей пропускной способностью. Наиболее точный контроль за печатным зазором и непревзойденное время безотказной работы полностью соответствуют требованиям HVM.

Описание

IQ Aligner NT является наиболее производительной и технически совершенной системой совмещения и экспонирования фотошаблона с подложкой. Система обеспечивает двукратное увеличение производительности и точности совмещения по сравнению с системой предыдущего поколения EVG IQ Aligner. IQ Aligner NT превосходит самые высокие требования литографических задач, при этом стоимость владения системой на 30 % ниже, чем у конкурирующих систем.
             
Система идеально подходит для изготовления столбиковых выводов на полупроводниковой пластине и интерпозеров для различных типов современных корпусов, включая корпуса на базе подложки кристалла (WLCSP), упаковку на уровне пластины (FOWLP), 3D-IC/переходные отверстия в кремнии (TSV), 2.5D интерпозеры и интегральные схемы с шариковыми выводами.

Улучшенная производительность

Передовые полупроводниковые корпуса постоянно развиваются для создания устройств нового типа с возрастающим объемом функциональности при меньших затратах на каждую функцию. В результате для удовлетворения уникальных потребностей современного рынка упаковки необходимы новые разработки в области литографии. Новая система IQ Aligner NT отвечает самым сложным требованиям литографии передовой упаковки с лучшими техническими характеристиками в сочетании с исключительной производительностью.

• Первоклассная пропускная способность
  • Первичная печать >200 подложек в час
  • Совмещение верхней поверхности >160 подложек в час
  • Совмещение нижней поверхности >160 подложек в час
• Точность выравнивания по краю
  • Совмещение верхней поверхности ≥ 250 нм
  • Совмещение нижней поверхности ≥ 500 нм
• Лампа высокой мощности
  • Широкополосная интенсивность >120 мВт/см²
  • Интенсивность i-линии > 65 мВт/см²

Новые возможности

IQ Aligner NT включает в себя ряд технических усовершенствований и уникальных функций для решения различных промышленных задач, а также для расширенного управления технологическими процессами.

• Концепция двойного размера подложки

Поддерживает различные размеры фотошаблонов без каких-либо усилий по переоборудованию и необходимости в адаптерах - обеспечивает быстрый и простой инструмент связи.

• Перемещение фотошаблона по свободному полю

Высокая совместимость процессов и гибкость в регулировке позиционировании шаблонов.
Облегчает обработку негативных фотошаблонов.

• Бесконтактная обработка

Бесконтактная компенсация погрешности межплатных клиньев (WEC)
Бесконтактная калибровка зазора фотогальванического процесса.

• Компенсация несовмещения

Сверхплоский держатель с температурной компенсацией.

• Возможность ручной загрузки фотошаблона и подложки

Возможность ручной загрузки подложек в системах, сконфигурированных на использование робота.

Технические характеристики