Система инспекции поверхности KLA-Tencor Candela CS920
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Компания KLA-Tencor представила обновленную систему инспекции поверхности Candela CS-920. Система предназначена для детального обследования поверхности полупроводниковых и оптоэлектронных материалов, применяемых в силовой электронике, и позволяет контролировать технологический процесс и значительно повышать выход годной продукции.
Оборудование предназначено для контроля как непрозрачных (Si, GaAs, и InP), так и прозрачных материалов (SiC, GaN, сапфир, стекло).
Использование системы для контроля пластин перед эпитаксией
Candela CS-920 является наиболее продвинутым устройством для определения и классификации дефектов, критических для производства устройств на основе GaAs – от дефектов эпитаксии, таких как кратеры, кольца, до дефектов подложки, таких как плоскости скольжения кристаллов и пятна от полировки. Качество пластин, поставляемых как «epi-ready» может значительно отличаться даже в пределах партии от одного производителя.
Система Candela SC-920 предназначена для удовлетворения потребностей производителей структур на основе SiC, GaAs. На настоящий момент, более половины подложек из SiC производимых по всему миру обследуются с помощью технологии Candela OSA.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | KLA-Tencor |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
