Установка автоматического измерения дефектности KLA-Tencor Candela 8720
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Установка автоматического измерения дефектности KLA-Tencor Candela 8720 предназначена для контроля производственного процесса с использованием таких материалов как: GaN, сапфир, SiC, Si, GaAs, стекло и кварц, а так же многих других.
Многоканальная система датчиков KLA-Tencor Candela 8720 в непрерывном режиме измеряет рассеяние света в зависимости от угла падения, изменений профиля, коэффициента отражения и фазового сдвига для автоматического определения и классификации критических дефектов. Оборудование обеспечивает высокую чувствительность, значительную пропускную способность контроля и гибкость, что позволяет применять систему как для целей контроля уже налаженного производственного процесса, так и для разработки технологического процесса.
Технические особенности
- Автоматизированный контроль производства светодиодных материалов, позволяющий повысить качество производимых подложек, увеличить скорость и пропускную способность контроля, а так же повысить его надежность;
- Несколько оптических измерительных методик реализуются одновременно в одном сканировании для обеспечения максимальной эффективности автоматического распознавания дефектов и их классификации;
- Повышенная чувствительность к критическим дефектам производства;
- Продвинутые алгоритмы расшифровки результатов – возможность создания собственной библиотеки дефектов
Характеристики чувствительности к типовым дефектам
|
Тип дефекта |
Материал |
CS20R |
CS20V |
8720 |
|
Частицы на поверхности |
Кремний |
250 нм |
80 нм |
60 нм |
|
Сапфир |
300 нм |
300 нм |
248 нм |
|
|
PSS |
3 мкм |
3 мкм |
1112 нм |
|
|
GaN на сапфире |
1112 нм |
1112 нм |
499 нм |
|
|
GaN на PSS |
1112 нм |
1112 нм |
499 нм |
|
|
Царапины |
Сапфир |
Глубина: 0,1 мкм Длина: 5 мкм |
Глубина: 0,03 мкм Длина: 2 мкм |
Глубина: 140 А Длина: 0,4 мкм |
|
GaN на сапфире |
Глубина: 0,5 мкм Длина: 5 мкм |
Глубина: 0,15 мкм Длина: 2 мкм |
Глубина: 75 нм Длина: 0,4 мкм |
|
|
Эпитаксиальные Кратеры |
GaN на сапфире |
15 мкм |
15 мкм |
0,3 мкм |
|
GaN на PSS |
15 мкм |
15 мкм |
0,6 мкм |
|
|
Прочие эпитаксиальные дефекты |
GaN на сапфире |
Высота: 0,5 мкм Длина: 100 мкм |
Высота: 0,3 мкм Длина: 100 мкм |
Высота: 300 А Длина: 30 мкм |
|
GaN на PSS |
Высота: 0,8 мкм Длина: 100 мкм |
Высота: 0,5 мкм Длина: 100 мкм |
Высота: 500 A Длина: 30 мкм |
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | KLA-Tencor |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
