Установка для отжига с ИК-лампой SCREEN LA-830
- Под заказ
Отправка с 14 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Установка для отжига с ИК-лампой SCREEN LA-830
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
Установка LA－830 представляет собой устройство для скоростной термической обработки с использованием печи с инфракрасным излучением. Область применения очень широка и включает в себя формирование силицида, устранение структурного дефекта кристаллической решетки после ионной имплантации, образование пленки термического оксида.
Характеристики
- Датчик температуры контакта пластины “TS probe” обеспечивает хорошую воспроизводимость процесса независимо от типов пластин и газов.
- Высокопроизводительная камера с оптимизированным потоком газа создает среду обработки высокой чистоты.
- 18-ступенчатая регулировка мощности и уникальный механизм фиксации пластины обеспечивают улучшенную равномерность обработки.
- Высокоскоростной температурный контроллер, предназначенный для линейного нагрева, предоставляет возможность непрерывного управления термическим процессом.
Базовая спецификация
- Пластина/размер: Si/ 6 или 8 дюймов (выбор)
- Перемещение пластины: Робот с двумя руками
- Кварцевая рука, рука из керамики высокой чистоты (перемещение), кварцевый держатель
- Перемещение в N2 (опция)
- Термическая печь
- Галогеновая лампа больше 18/меньше 18: мощность лампы 170В, 1.7кВт на лампу
- Корпус лампы: покрытие Au, водяное охлаждение
- Диапазон температур: 350C ~1100C
- Регулировка температуры: управление датчиком «TS probe» в замкнутом цикле
- Различные технологические/предохранительные блокировки
- Газовый блок
- Регулирование массового расхода: макс. 4 газа
- Габариты (мм): 795(ш)x2950(г)x2150(в) *без пульта управления
- Вес: 1150кг (основной корпус)
| Основные | |
|---|---|
| Страна производитель | Япония |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
