Установка УФ экспонирования на светодиодах Idonus
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание:
Компания idonus предлагает инновационную систему УФ фотолитографии, в основе которой лежит использование светодиодов высокой мощности и микролинзовой камеры высокого качества производства Швейцарии.
Система разработана для экспонирования фоторезиста и подходит для пластин различного размера и формы. Качество модуля засветки обеспечивает высокую однородность критических размеров и углов боковых стенок по всей поверхности. Наша система гарантирует идеально стабильное качество засветки фоторезиста, т.е. высокую равномерность и малые углы расхождения пучка по всей поверхности, благодаря телецентрической оптике.
Основные возможности:
- Продолжительность службы LED, больше не требуются расходные материалы
- Отсутствует необходимость в ежедневной калибровке, стабильное освещение незамедлительно
- Ограниченный нагрев, уменьшение расходов на охлаждение воздуха
- Низкое потребление энергии
- Индикатор «ON» горит только во время экспонирования (затвор не требуется)
- Отсутствуют расходы на техобслуживание
Преимущества LED
Современные достижения в области светодиодной технологий позволяют использовать ультрафиолетовую светодиодную засветку, которая имеет больше преимуществ, чем стандартная на основе ртутных источников:
- Продолжительность службы LED, больше не требуются расходные материалы
- Отсутствует необходимость в ежедневной калибровке, стабильное освещение незамедлительно
- Ограниченный нагрев, уменьшение расходов на охлаждение воздуха
- Низкое потребление энергии
- Индикатор «ON» горит только во время экспонирования (затвор не требуется)
- Отсутствуют расходы на техобслуживание
Возможно изготовление системы освещения по индивидуальному заказу в полном соответствии с вашими требованиями. Возможна интеграция системы в вашу установку экспонирования с заменой ртутной лампы.
Стандартные характеристики
|
Разрешение |
0,5 мкм |
|
Оптическая мощность |
от 20 до 200 мВт/см2 |
|
Площадь экспонирования |
от 50х50 до 300х300 мм2 |
|
Оптическая неоднородность излучения |
±2% |
|
Макс. угол расхождения пучка |
±1.5° до 3° |
|
Длина волны |
365 / 385 / 405 нм |
|
Полуширина спектра |
12 нм |
|
Размер системы |
65×30×30 см3 |
|
Потребление электроэнергии |
20 до 1200 Вт |
Различные примеры конфигураций установки экспонирования указаны в таблице ниже. Система может работать с различными длинами волн и обеспечивает аналогичные характеристики экспонирования как в системах с ртутными источниками. Система может быть разработана под ваши технические требования.
Технические характеристики:
|
Тип системы |
А |
Б |
В |
|
Разрешение, мкм |
2 |
1 |
1 |
|
Оптическая мощность, мВт/см2 |
42 |
152 |
165 |
|
Площадь экспонирования, мм2 |
80х80 |
100х100 |
300х300 |
|
Оптическая неоднородность излучения, % |
±2 |
±2 |
±2 |
|
Макс. угол расхождения пучка |
±2.5° |
±1.5° |
±1.5° |
|
Длина волны, нм |
405 |
365 |
385 |
|
Полуширина спектра, нм |
12 |
12 |
12 |
|
Размер системы, см |
65x30x30 |
65x30x30 |
1100x60x60 |
|
Потребление электроэнергии, Вт |
20 |
180 |
1200 |
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Idonus |
| Страна производитель | Швейцария |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
