Система визуального контроля HSEB Axiotron 2 CSM VIS-UV

Описание:

Модификация микроскопов серии Axiotron 2 с возможностью софокусной ахроматической микроскопии. Цветовая кодировка топографии образца с помощью ахроматического источника света. Увеличенная глубина фокуса

 

Основные возможности:

• CSM: Конфокальный Микроскоп с вращающимся перфорированным диском (диск Нипкова)
• Основано на патентованной технологии Carl Zeiss.
• Изображение в реальном времени с использованием цветовой кодировки топографии образца при помощи ахроматического источника света.
• Микроскоп выполнен без использования технологии лазерного сканирования, что убирает необходимость работы с компьютером – изображение передается напрямую через окуляры.
• Глубина фокуса увеличена в семь раз по сравнению с обычным светлым полем. Перефокусировка не требуется.
• Диаметр отверстий сочетается с объективом 100x/0.95 наилучшим образом для превосходного контраста и глубины фокуса.
• Осмотр в УФ-лучах на i-линии: узкополосное освещение и специальные УФ-объективы от Carl Zeiss позволяют добиться максимальной контрастности, убирая рассеивание света по остальной поверхности образца.

Режим конфокального сканирования CSM, запатентованный компанией Carl Zeiss, увеличивает контрастность изображения путем устранения постороннего света за счет фокусирования на микроотверстиях вращающегося диска (диска Нипкова). Кроме того, увеличивается глубина фокуса (от 0,6 до 4,7 мкм при использовании объектива 50х). С помощью кодирования высоты цветом в конфокальном режиме различные слои полупроводниковой пластины отображаются в разных цветах, от красного в нижних слоях до синего в верхних.

Конфокальное изображение в режиме реального времени, полученное с помощью видимого (белого) света, и запатентованный компанией Zeiss элемент Chromat C позволяют получить многоцветное объемное изображение и увеличить глубину фокуса. Наблюдения при освещении на i-line (365 нм) с использованием ведущих в своем классе УФ объективов Epi-Ultrafluar возможно не только в светлом поле, но и в режиме конфокальной микроскопии. За счет практически полного подавления постороннего света получается чрезвычайно контрастное изображение. 

Изображения, полученные в конфокальной оптике, светлом поле при наведении фокуса на верхний слой и света