Описание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
Высокопроизводительная автоматизированная система для осмотра кромки пластин и анализа снятия краевого валика (EBR-метрология). Полный осмотр всех пяти краевых зон. Наименьшая стоимость обслуживания в индустрии позволяет осуществлять наблюдение за всеми этапами производства
Особенности:
- Точность обнаружения дефектов до 10 мкм при 150 пластин/час.
- Инспекция граней по пяти зонам; плоские и структурированные грани.
- Параллельная многоканальная метрология EBR/WEE – анализ снятия краевого валика.
- Наименьшая в индустрии стоимость обслуживания среди подобных систем.
- Технологии отображения дефектов HSEB IP для качественного отбора продуктов.
- Функция сортировки и манипуляторы для толстых/тонких пластин.
- Система также доступна в виде модуля для объединения с другими системами разработанными HSEB.
Основные возможности:
- Возможно использование как отдельно, так и в качестве модуля ODIN, WOTAN или AXIOSPECT
- Легкий в интеграции модуль.
- Поиск дефектов на поверхности, углах и вершинах (пыль, следы от неосторожного обращения, сколы, расслоения, etc.)
- Контроль снятия краевого валика (EBR-метрология)
Выявление дефектов, сколов и трещин на краях пластин

- Изображение сверху показывает всю поверхность грани пластины со сжатием 1:10 в горизонательном(угловом) направлении.
- Изображения ниже показывают детали дефектов в светлом и темном поле.
Метрология EBR

Метрология медного покрытия

Сварка-3D- компоновка

Инспекция всех зон

Расширенные возможности измерений
- Анализ снятия краевого валика: многопоточные EBR-измерения
- Поиск дефектов и измерения производятся как на пустых, так и на напечатанных участках
- Контроль снятия краевого валика экспонированием (WEE-мониторинг)
| Основные | |
|---|---|
| Страна производитель | Германия |
- Цена: Цену уточняйте


Отправка с 13 июня 2026