Система спектроскопического измерения толщины пленки SCREEN VM-2200/3200

Описание:

Системы серии VM-2200/3200 для спектроскопического измерения толщин пленок являются наиболее популярными в Японии. Модели в этой серии подходят как для измерения материала, так и для измерения тонких и многослойных пленок.

Линейка VM-2200/3200 предназначена для использования с полупроводниковыми пластинами диаметром от 75 мм до 300 мм и включает в себя полный ряд моделей от более простых, низкопроизводительных устройств до профессиональных систем высокого класса, что позволяет подобрать установку для любых производственных нужд – НИОКР или производства.

Функции

Высокая производительность

Модели серии VM-2200 способны обрабатывать до 150 полупроводниковых пластин в час в высокоскоростном режиме (в процессе пятиточечного измерения пластин SiО2).

Компактный дизайн

Модели серии VM-2200/3200 имеют эргономичный компактный дизайн, благодаря чему установка легко встраивается в имеющееся пространство, что значительно упрощает планировку производственной линии.

Простота обслуживания

Модели серии VM-2200/3200 имеют функцию регистрации событий, которая облегчает техобслуживание. Компания SCREEN на основании многолетнего опыта в полупроводниковой промышленности создала дизайн, благодаря которому проведение техобслуживания стало простым, как никогда. Системы были разработаны и произведены в Японии, доставка запасных частей осуществляется в другие страны мира, включая Россию, в максимально оперативном режиме.

Удобство и простота эксплуатации

Вы можете легко создать рецепт и ввести оптические константы благодаря опыту компании SCREEN в полупроводниковой промышленности. Программный продукт можно практически полностью контролировать с помощью мыши.

Обработка одной пластины

Систему можно настроить для единовременной обработки одной пластины.

Гибкий дизайн

Линейка VM-2200/3200 включает в себя полный ряд моделей, поэтому вы можете выбрать систему, которая подходит вам по цене и набору функций.

Характеристики

Размер пластины:

• ø75 мм,    
• ø100 мм,    
• ø125 мм,  
• ø150 мм,  
• ø200 мм,  
• ø300 мм

Функции измерения   

• Измерение толщины однослойной и двухслойной пленки (стандартная программа: помимо 25 предварительно загруженных типов, пользователь может ввести характеристики дополнительных пленок)
• Возможна одновременная обработка до четырех образцов слоев пленок.
• Измерение коэффициента спектрального отражения
• Хранение и управление данными измерения
• Трехмерное картирование и отображение данных измерений, исправление значений толщины пленки, гистограммное отображение, функции статистической обработки и т.д.  
• Заданные пользователем типы пленок

Диапазон измерения 

• VM-2210/3210 : от 10 нм до 20,000 нм
• VM-2230/3230 : от 2 нм до 20,000 нм

*При необходимости проведения измерений свыше 20.000 нм, пожалуйста, свяжитесь с представителем компании.

Воспроизводимость измерений (ð)

• 0.1 нм (толщина пленки: от 10 нм до 3,000 нм)
• 0.03 % (толщина пленки: от 10 нм до 10 мкм)
• 0.2 % (толщина пленки: от 3 мкм до 20 мкм; метод P&V)

Размер пятна измерения        

• VM-2210/3210:   ø 20 мкм,  ø 10 мкм,  ø 5 мкм,  ø 2 мкм (опция)
• VM-2230/3230:  ø 13.4 мкм,  ø 4 мкм (опция)

Диапазон длин волн  

• VM-2210/3210: от 400 нм до 800 нм                  
• VM-3210/3230: от 200 нм до 800 нм

Основные опции          

• Система транспортировки тонких пластин: 100 мкм
• Измерение толстых пленок: 100 мкм
• Функция распознавания изображения
• Главный компьютер в онлайн-режиме
• Измерение борозд
• FOUP/SMIF
• Навесная лампа