Система анализа структур на полупроводниковых пластинах SCREEN ZI-2000
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Система анализа структур на полупроводниковых пластинах SCREEN ZI-2000
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Функции
- Система ZI-2000 может использоваться в целом ряде процессов, начиная с производственного контроля в процессе первичной обработки пластины, где требуется гибкость, до финального визуального осмотра, где основным критерием является скорость.
- Специальная головка с запатентованной линзой/системой подсветки и высокоскоростным процессором для обработки изображений обеспечивают высокую производительность независимо от количества схем на полупроводниковой пластине.
- Легкое создание рецептов и оперативный анализ новых пластин благодаря отсутствию необходимости сравнения с эталонным изображением.
- Все результаты анализа можно подтвердить в режиме реального времени. Функция автоматической классификации дефектов (ADC) позволяет просматривать только необходимые результаты по окончании проверки.
- Компактный дизайн и низкая стоимость обусловлены использованием платформы систем для оптического измерения толщины пленки Lambda Ace, а также более узкой функциональностью установки.
Спецификация
- Пластина: ø5~ ø8 дюймов / ø125~ ø200 мм (открытая кассета)
- Транспортировка: Роботизированное транспортное устройство
- Метод анализа: Сравнительный
- Источник подсветки: RGB 3-цветная LED подсветка (цвета на выбор)
- Оптическое разрешение: 1.5 мкм х 1.5 мкм
- Производительность :
- 46 сек/ ø5 дюймов (ø125 мм)
- 56 сек/ ø6 дюймов (ø150 мм)
- 79 сек./ ø8 дюймов (ø200 мм) (вкл. время транспортировки)
- Габариты (ШxГxВ): 1,400 мм x 1,250 мм x 2,030 мм
- Вес: Прим. 1 200 кг
| Основные | |
|---|---|
| Страна производитель | Япония |
- Цена: Цену уточняйте
