Кластерная система Sawatec CS-200-4 pioneer

Описание:

Кластерные системы SAWATEC являются идеальным решением для полностью автоматизированных процессов с кассетной загрузкой и выгрузкой. Модульная линейка CS состоит из системы оптического предварительного совмещения и трех станций гибкой конфигурации, которые можно оборудовать рядом необходимых инструментов. Компания SAWATEC разработала системы с соответствующими конфигурациями для процессов со стандартными шагами.

Сравнительные характеристики:

Благодаря гибкой модульной конструкции с автоматической загрузочной станцией кластерная система позволяет пользователю решать индивидуальные, специфические задачи в производстве (линейка Challenger).

15-дюймовый сенсорный экран управления

 

 

Высокоскоростной робот

Конструкция шкафа

• Шкаф из нержавеющей стали предназначен для использования в условиях чистой комнаты
• Прозрачные со всех сторон дверцы для наблюдения за процессом
• Расположенный в центре высокоскоростной робот с тремя степенями подвижности и интеллектуальным концевым захватом
• Станция оптического предварительного совмещения
• Все модули легкодоступны для обслуживания и ремонта
• Станция загрузки (2 носителя) с переходником для универсального дизайна для кассет различных типов
• Ручное управление вытяжкой для каждого модуля
• Индикаторы процесса: зеленый, оранжевый и красный

Станция предварительного совмещения

 

 

 

Загрузочная станция

 

 

Станция 1: Центрифуга iSPRAY-200, 1 шт.

Для подложек с высокоструктурированной топологией, глубокие МЭМС структуры или неплоские поверхностные структуры. iSPRAY-200 от SAWATEC гарантирует, что покрытие будет как можно более однородное, в сочетании с фоторезистами с низкой вязкостью (например, Shipley 1813, AZ 4999, AZ 9260, SU8 и т. д.) что особенно подходит для нанесения покрытия распылением, процесс-оптимизация форсунки создает очень мелкие капли.

Напыление происходит с помощью петли-образного напыления в закрытой камере, обеспечивая равномерное покрытие по всей поверхности подложки и высокий уровень повторяемости. 

Характеристики (базовая конфигурация):

• Параметры процесса: рисунок распыления, скорость перемещения руки с форсункой, время распыления, конус распыления.
• Электр. управляемая рука с форсункой, с возможностью выбора скорости по оси X, Y и Z
• Объем распыления: 50 мл в буферном картридже, подающая помпа с регулятором уровня
• Вязкость резиста:   от 0.3 до 25 cSt (μPas)
• Форсунка: Размер капли < 7 микрон, тип форсунки Micro 3
• Скорость и точность положение руки с форсункой: мах. 0.4 м/сек; ±0.1 мм
• 2 технологические форсунки (PR и N2) с изменяемой формой конуса распыления
• Регулируемая форсунка с постоянным давлением сопла и функцией автоматической очистки
• Контроллеры управления сжатым воздухом и вакуумом

Дополнительные функции (опции):

• Нагреваемый стол до 150°C, размер поверхности нагрева Ø300 мм
• Центрифуга со скоростью вращения до 3’000 об/мин. +/-1 об/мин.
• Центрифуга с нагреваемым столом, скорость вращения до 1'500 об/мин. и нагрев до 150°C
• Перемещение по оси-Z для форсунки
• Две форсунки с раздельными каналами подачи фоторезиста для предотвращения загрязнения

Две раздельные форсунки

 

 

Перемещение по оси-Z для форсунки

Станция 2: Модуль проявления SMD-200 / проявления и травления SMD-200-E

Проявление экспонированного резиста является одним из наиболее важных шагов процесса, поэтому необходимо уделить особое внимание выбору процесса проявления и его параметров. Установки проявления SMD демонстрируют чрезвычайную убедительность благодаря высокой производительности, низкому расходу материалов, а также надежной стабильности даже при работе с толстопленочными резистами. 

Линейка систем SMD предназначена для чистки, проявления и травления.

Характеристики (базовая конфигурация):

• Закрытая технологическая камера для безопасности процессов, изготовленная из полипропилена (SMD) или нержавеющей стали (SMD-E)
• Узел чаши для обработки подложек размером до 200 мм, нагреваемый колпак (до 50°C)
• Скорость вращения макс. 3’000 об/мин. +/-1 об/мин. (в зависимости от веса и размера подложки)
• Распыляющий манипулятор с электроприводом с динамической или статической функцией
• Линия подачи проявителя и один резервуар для материала в комплекте
• Форсунка для промывки деионизированной водой и сушки N2 на манипуляторе
• Механическая фиксация подложек, различные держатели

Дополнительные функции (опции):

• Дополнительные линии для проявителя (возможность подключения до 4 линий)
• Два подающих манипулятора с линиями для материалов
• Система подогрева резервуаров с проявителем (2 л)
• Форсунки разных размеров и из различных материалов (ПЭЭК или нержавеющая сталь 0,3 / 0,5 / 0,8 мм)

Модуль проявления SMD-200

 

Модуль проявления SMD-200-E

 

Механический держатель

Станция 3: Сборный модуль из трех нагревательных столов HP-200 и одного охлаждающего стола CP-200

Устройства линейки HP обеспечивают высокий уровень равномерности и  высокий уровень повторяемости. Заданная температура и температурный профиль имеют узкие пределы, что позволяет добиться высокого качества покрытия. 

Характеристики (базовая конфигурация):

• Максимальная температура нагревательного стола 250°C (равномерность +/-0.5°C при 100 °C)
• Автоматическое ограничение температуры, нет перегрева
• Диаметр поверхности нагревательного и охлаждающего стола 250 мм, подходит для обработки подложек размером 8”
• Программируемый зазор и загрузочные/разгрузочные штифты (шаг 8 мм)
• Зазор штифтов с тонкой настройкой с шагом 0,1 мм
• Фиксация подложек с помощью вакуума
• Простое ручное выравнивание нагревательных и охлаждающих столов позволяет избежать вытравления фоторезиста

Дополнительные функции (опции):

• Продувка N2 с программным управлением, отсутствие окисления
• Праймирование ГМДС с программным управлением, оптимизированное сцепление
• Охлаждающий стол расположен рядом с нагревательным (1 дополнительный стол HP-200 для увеличения производительности)
• Внешний чиллер, температура регулируется системной платой

Сборный модуль из трех нагревательных столов HP-200

 

 

Опция: Охлаждающий стол возле сборных нагревательных столов

Продолжительность обработки и производительность в день

Эффективная производительность зависит от конкретных параметров процесса клиента.

Пример ежедневной продолжительности производства (принято 20 часов; 72’000 сек.)

Требования к подключению:

Габариты:

Комплектующие:

• Прецизионные дозирующие помпы Sawatec