Автоматическая система для работы с резистами SUSS Gamma
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Автоматическая система для работы с резистами SUSS Gamma
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
Система SUSS Gamma – полностью автоматическая, что обеспечивает гибкость, чистоту и надежность процессов нанесения фоторезиста, бензоциклобутена (BCB) или полиимидов. Система объединяет в себе высокую производительность с низкой стоимостью эксплуатации, что позволяет ее применять не только в MEMS и Advanced Packaging, но и в оптоэлектронике
Основные возможности:
- Компактная кластерная архитектура с роботом, расположенным по центру и модулями процессов, расположенными вокруг него.
- До трех наносящих/проявляющих модулей
- До трех температурных стеков, в каждом из которых до шести нагревающихся/охлаждающихся пластины
- Модуль AltaSpray для нанесения по сложной топографии
- Кассета Auto-Sizing с зеромеханическим изменением крепления между размерами подложек
- Круглые подложки от 2 дюймов до 200 мм и квадратные от 2 до 6 дюймов
- Параллельная потоковая функциональность даже с разными размерами подложек для оптимального использования мощностей системы
- Технология GYRSET – вращающийся купол для равномерного нанесения по высокой топографии
- Покрытие квадратных подложек без сбора резиста по углам
- Очистка края
- Нанесение резиста струйным способом и спреем для высокой равномерности распределения
- Полностью укомплектована интерфейсом SECSII/GEM
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | SÜSS MicroTec |
| Страна производитель | Германия |
- Цена: Цену уточняйте
