Установка проявления фоторезиста Sawatec SMD200 (LRD-250)
- Под заказ
Отправка с 23 февраля 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Установка проявления фоторезиста Sawatec SMD200 (LRD-250)
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
В результате обновления линейки оборудования Sawatec, взамен популярной LRD-250 с марта 2016 года поставляется SMD-200
Удобная установка для проявления, позволяющая производить проявление полупроводниковых пластин и вымывание резиста путем налива проявляющей жидкости различными типами струй.
Возможности:
- Сенсорный дисплей
- До 50 рецептов по 24 шага в каждом
- Закрытая чаша для проявления
- Обработка пластин до 200 мм диаметром и подложек до 150х150 мм
- Возможность подогрева танка с проявителем (2 литра)
- Подающая рука с электрическим приводом
- До 4 подающих линий под разные проявители
- На руке сопло для проявителя, для деионизированной воды, а также для обдува азотом
- Механический зажим подложек
- Звуковой сигнал по окончании процесса проявления
- Два варианта - в напольном столике или для встраивания
Опции:
- Дополнительные линии для проявителей (до четырех)
- Система подогрева проявителей
- Сопла из пластика от 0,3 до 0,5 мм
- Сопла из нержавеющей стали от 0,3 до 0,8 мм
Параметры процессов:
- Скорость до 3000 об/мин
- Ускорение 160 об/мин/сек2
Требования по подключению:
- 240 В переменного тока 50/60 Гц, 16А
- Сжатый воздух (6 бар)
- Азот (4 бара)
- Деионизированная вода (3 бара)
- Вытяжкка диам. 76 мм (40-60 м3/ч)
Размеры и вес:
- 850х750х1320 мм
- 130 кг
Комплектующие:
- Прецизионные дозирующие помпы Sawatec
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Sawatec |
| Страна производитель | Швейцария |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
