Установка инспекции пластин в ИК свете Idonus WBI
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание:
Кремний является прозрачным для инфракрасного света. Источник инфракрасного света установки WBI освещает кремниевую пластину с задней стороны, с другой стороны проходящий свет принимает приемник. Таким образом, становится возможным проконтролировать качество сращивания двух кремниевых пластин, чего нельзя сделать на обычном микроскопе.
Установка WBI оснащена источником инфракрасного света и коллиматором, который освещает пластину пучком света с равномерной интенсивностью. ИК чувствительная камера отображает образ проверяемой пластины через порт USB на монитор компьютера. Поле зрения и увеличение могут быть настроены вручную. Компания Idonus изготавливает установки контроля под пластины размеров 100, 150 и 200 мм.
Для пластин меньшего размера предусмотрены специальные адаптеры. 200 мм версия WBI оснащена моторизированным приводом держателя пластин.
Для работы системы необходим компьютер с USB портом и Windows 2000 или выше.
Основные возможности:
- Контроль пластин до и после сращивания
- Совмещение кремниевых пластин/чипов
- Контроль качества
- Инспекция отдельных устройств MEMS
- Измерение скорости травления скрытых структур (например, КНИ пластин)
Пример ИК изображений: С левой стороны показаны две кремниевые пластины после сращивания (фотография CSEM SA). Общая толщина 1.0 мм. Не сращенные площади между двумя пластинами можно увидеть в областях с интерференцией. Изображение справа показывает качество сращивания пластин с уже сформированной на них структурой. Изображение показывает области подтравленных полостей. Также область интерференции показывает области плохого сращивания.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Idonus |
| Страна производитель | Швейцария |
- Цена: Цену уточняйте
