Система электрохимического осаждения MOT μGalv

Описание:

Система электрохимического осаждения μGalv обеспечивает выполнение рабочих процессов, связанных с осаждением металлов на пластину. Используется в процессе производства МЭМС, полупроводников, оптике, производстве солнечных батарей. Гибкость настроек вместе с возможностью расширения делает μGalv идеальным решением как для промышленного использования, так и для нужд R&D. 

Корпус устройства изготовлен из пластика устойчивого к агрессивным химическим реагентам(кислотам/щелочам и т.д). В соответствии с принятым в Германии законом о защите окружающей среды встроен поддон сбора реагентов, который снабжен датчиками жидкости во избежание утечки. Комплект поставки возможно подобрать индивидуально по спецификациям заказчика.

Основные возможности:

• Осаждение чистых металлов: Ni, Cu, Au, Ag и других.
• Электроосаждение сплавов NiFe, NiCo, NiW, SnPb и других.
• Химическое восстановление металлов Ni, Au, SnPb и других.
• Различные варианты исполнения ванн
• Импульсное осаждение с минимальным интервалом 0,10 мс, реверсирование потоков.
• Контроль параметров электролита (состав, рH, температура)
• Постановка и сдача процесса под задание заказчика

Корпус

• Материал: стандартно полипропилен, дополнительно PVDF 
• Материал дверцы: PP или PMMA, прозрачный PVC.

Модули очистки:

Стандартная стоп-ванна (настольная или встроенная), ванна быстрого отмыва, мега-звуковая ванна.
Модули центробежной отмывки и сушки пластин, доп. QDR

Элементы управления, электронные компоненты и пневматика

Все необходимые элементы управления встроены в переднюю панель, все прочие компоненты собраны отдельно в зоне обслуживания на задней стороне устройства, распылители DI-H2O и N2 встроены в рабочую поверхность.

Дополнительные опции для рабочего процесса

• Шкаф с размещением нескольких ванн, для разных процессов
• Вертикальное перемещение катода
• Работа с упаковками при необходимости хим. восстановления
• Импульсное осаждение с мин. межимп. инт. в 0,1 мс
• Возможность реверсирования потоков

Модули осаждения

• Ванна переливная, дополнительный резервуар c циклом фильтрации/перелива.
• Осаждение чистых металлов: Ni, Cu, Au, Ag и других.
• Электроосаждение сплавов NiFe, NiCo, NiW, SnPb,...
• Химическое восстановление металлов Ni, Au, SnPb,...
• Варианты ванн: на подвеске, разбрызгиватель, поточная (с наклоном пластин) в зависимости от нужд потребителя.
• Контроль необходимого pH (кислоты и/или щелочи), а также охлаждение.
• Импульсное осаждение с минимальным межимпульсным интервалом в 0,10 мс, реверсирование потоков.

Стандартные компоненты

• Важно: доступны индивидуальные вариации комплекта компонентов.
• Вентили: мембранные и шаровые, различного диаметра
• Помпа: погружная помпа из полипропилена, опционально PVDF
• Корпус фильтра: PP 10“, опционально PVDF трубопровод из PP, опционально PVDF или PFA, трубки диаметром ½“, ¾“, 1“ с фитингами PFA Flaretek
• Панель доступа: сенсорная

Дополнительные опции

• Автоматические манипуляторы
• Интеграция ванн предварительной и пост обработки. 
• Ламинарный шкаф
• Вакуумная фиксация
• Быстрое подключение для слива жидкостей
• Интерфейс для работы с данными о процессе
• Индивидуальные решения