Система жидкостного травления MOT μChem

Описание:

Система жидкостного травления μChem обеспечивает выполнение всех процессов жидкостной химической обработки в технологиях производства МЭМС, полупроводников, солнечных батарей, оптики и других. Гибкость настроек и конфигурации делает устройство μChem идеальным решением как для промышленного использования, так и для нужд R&D

Основные возможности:

• Работа с PIR, PHO, KOH, HF, SC1/2
• Очистка пластин: ультразвуковая, мегазвуковая ванна
• Промывка пластин: стоп-ванна, ванна быстрого отмыва
• Сушка пластин: центробежная отмывка и сушка пластин, сушки в изопропиловом спирте.
• Контроль параметров химии (состав, рH, температура)
• Различные варианты исполнения: ручные и автоматические системы
• Ламинарный вытяжной шкаф или настольные системы
• Постановка и сдача процесса под задание заказчика

Корпус устройства изготовлен из полипропилена устойчивого к агрессивным химическим реагентам(кислотам/щелочам). В соответствии с принятым в Германии законом о защите окружающей среды встроен поддон сбора реагентов, который снабжен датчиками жидкости во избежание утечки. Комплект поставки возможно подобрать индивидуально по спецификациям заказчика.

Корпус

• Материалы: стандартно полипропилен, дополнительно PVDF, нержавеющая сталь.
• Материал дверцы: полипропилен или PMMA, прозрачный ПВХ

Дополнительные модули

• Промывка перчаток
• Модуль травления спреем с раскруткой пластины
• Модуль групповой обработки пластин
• Корзины для переноски пластин
• Термостолик
• Модуль жидкостной обработки с раскруткой пластины

Элементы управления, электронные компоненты и пневматика

Все необходимые элементы управления встроены в переднюю панель, пневматические и электронные компоненты собраны отдельно в зоне обслуживания на задней стороне системы, распылитель DI-H2O и N2 встроен в рабочую поверхность.

Стандартные компоненты

• Важно: доступны индивидуальные варианты комплекта компонентов.
• Вентили: мембранные, шаровые, различного диаметра.
• Помпа: пневматическая помпа из пластика PTFE, опционально - электрические помпы из PVDF.
• Корпус фильтра: PFA 10“, опционально PVDF,
• Трубки/Фитинги: Трубки из PVDF, PP или PFA диаметром ½“, ¾“, 1“ с фитингами PFA Flaretek
• Пневматика: Festo-Parts, Система PLC, контроль с помощью ПК опционально
• Панель управления: сенсорный экран

Модули травления

• Работа с PIR, PHO, KOH, HF, SC1/2
• Фильтрационные или погружные, с регулировкой температуры и без.