Установка вакуумного напыления Vinci PVD-10
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Установка вакуумного напыления Vinci PVD-10
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
PVD-10 – компактная вакуумная система, позволяющая одинаково качественно проводить процессы термического осаждения из паровой фазы или путем распыления мишени. Благодаря своему дизайну идеально подходит для лабораторий и повседневных научно исследовательских задач
Основные возможности:
- Испарители типа «лодочка, корзина, спираль и т.д.» до 10
- Возможность работы с органическими и неорганическими материалами
- Электронная пушка (4 ячейки по 6 см3 )
- От 1” до 4” магнетронные источники ВЧ, постоянного тока, постоянного тока с режимом пульсации
- До 4-х магнетронов размещенных сверху или снизу камеры
- Датчики потоков газов с регуляторами
- Регулировка давления дроссельной заслонкой
- Совмещение термических и магнетронных процессов
Контроль процесса:
- ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска
- Кварцевый и резистивный мониторинг
- Регулировка рабочего вакуума
|
Функция |
Система |
||
|
PVD-10 E |
PVD-10 S |
PVD-10 H |
|
|
Нагрев подложки (до 600° С) |
x |
x |
x |
|
Охлаждения подложки |
x |
x |
x |
|
Вращения подложки |
x |
x |
x |
|
Магнетроны (до 4-х) |
- |
x |
В зависимости от кол-ва термических источников |
|
Расположение магнетронов снизу |
- |
x |
- |
|
Расположение магнетронов сверху |
- |
x |
x |
|
Термические источники (до 10-х) |
x |
- |
В зависимости от кол-ва магнетронных источников |
|
Перчаточный ящик |
x |
- |
x |
|
Изолирование держателя подложки для подачи смещени |
- |
x |
x |
|
Ионный источник |
- |
- |
x |
|
Возможность регулирования рабочего давления |
- |
x |
x |
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Vinci Technologies |
| Страна производитель | Франция |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
