Установка вакуумного напыления Vinci PVD-4
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание:
PVD-4 – компактная вакуумная система, позволяющая одинаково качественно проводить процессы термического осаждения из паровой фазы или путем распыления мишени. Благодаря своему дизайну идеально подходит для лабораторий и повседневных научно исследовательских задач
Основные возможности:
- Испарители типа «лодочка, корзина, спираль и т.д.» до 4-х
- Возможность работы с органическими и неорганическими материалами
- 1” и 2” магнетронные источники ВЧ, постоянного тока, постоянного тока с режимом пульсации
- До 3-х магнетронов размещенных сверху или снизу камеры
- Регулировка давления дроссельной заслонкой
- Совмещение термических и магнетронных процессов
Контроль процесса:
- ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска
- Кварцевый и резистивный мониторинг
- Регулировка рабочего вакуума
Технические характеристики:
|
Функция |
Система |
||
|
PVD-4 E |
PVD-4 S |
PVD-4 H |
|
|
Нагрев подложки (до 600° С) |
x |
x |
x |
|
Охлаждения подложки (до -150° С) |
x |
x |
x |
|
Вращения подложки |
x |
x |
x |
|
Магнетроны (до 3-х) |
- |
x |
x |
|
Расположение магнетронов снизу |
- |
x |
- |
|
Расположение магнетронов сверху |
- |
x |
x |
|
Термические источники (до 2-х) |
x |
- |
x |
|
Шлюзовый загрузчик |
- |
- |
x |
|
Изолирование держателя подложки для подачи смещения |
- |
x |
x |
|
Стеклянная камера |
x |
x |
x |
|
Кварцевый датчик |
x |
x |
x |
|
Возможность регулирования рабочего давления |
- |
x |
x |
Комплектующие:
|
|
|
|
|
MT-1000 : Манипулятор для подложек 1" с возможностью нагрева до 1000°С |
MP-800 : Манипулятор для подложек до 2" / 800°C с возможностью подачи O2 |
MLN2-800 : Манипулятор -130°C / +800°C |
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Vinci Technologies |
| Страна производитель | Франция |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
