Установка магнетронного напыления Evatec MSP 1225-1235
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Установка магнетронного напыления Evatec MSP 1225-1235
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
Семейство установок магнетронного напыления с вертикальной загрузкой.
Общая площадь напыления составляет 1,5 м2 и 2,2 м2 для моделей 1225 и 1232 соответственно. Позволяет напылять металлы, диэлектрики и TCO покрытия как на гибкие, так и на жесткие подложки. Для напыления диэлектриков используется технология сдвоенных магнетронов. Область применения – напыление поглощающих и олеофобных покрытий, светофильтров, производство LED
Основные возможности:
- Размеры подложки до 560*380 мм в случае жестких подложек
- До 6 магнетронных источников
- Очистка подложек ионным источником
- Однородность напыляемой пленки до 1% за счет модульной настраиваемой магнитной системы магнетронов
- Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров
- Возможность установки системы оптического контроля для отслеживания оптических свойств растущей пленки
- ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Evatec |
| Страна производитель | Швейцария |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
