Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec CLUSTERLINE 200 II
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec CLUSTERLINE 200 II
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
Универсальная кластерная система
Открытая архитектура системы CLUSTERLINE 200 II позволяет легко конфигурировать ее под комплекс таких процессов как PVD, PECVD и мягкое травление. Система позволяет работать с пластинами до 200 мм
Основные возможности:
- Открытая архитектура системы, легко настраивается и расширяется
- Вспомогательные функции модулей, включая выравнивание пластин, дегазацию и охлаждение
- Двухкасетный шлюз – загрузка и выгрузка пластин без контакта с оператором, индикация выравнивания пластин
- Робот-загрузчик на магнитном приводе
- Возможность работы с подложками толщиной от 70 мкм до 6 мм
- Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров (4 ", 5", 6 " и 8")
- Плоские магнетроны (RF и DC) с вращающейся магнитной системой обеспечивают высокую однородность пленки
- Мягкий процесс ICP травления обеспечивает высокую скорость и высокую однородность даже при низких напряжениях смещения. Обработка подложек плазмой H2, N2 и O2
- Охлаждаемый подложкодержатель (до -30 °С) позволяет травить подложки из органических материалов, таких как полиимид (PI) и полибензоксазол (PBO)
- Модуль дегазации пластин обеспечивает высокую воспроизводимость результатов
- До четырех магнетронных источников (постоянного тока и ВЧ) на одном кластерном модуле с возможностью одновременной работы
- Контролируемая температура подложкодержателя от -30 до 800 ° C
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Evatec |
| Страна производитель | Швейцария |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
