Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec Clusterline SPM
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec Clusterline SPM
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
Универсальная кластерная система.
Система Clusterline SPM представляет собой самостоятельный процессный модуль (Single Process Module) кластерной системы Radiance BPM, который может функционировать как отдельно взятая установка, так и в составе кластерной линии. В качестве единичного процессного модуля могут выступать: магнетроны на постоянном токе (DC), магнетроны на ВЧ токе (RF) (комбинированное напыление (DC/RF), напыление со смещением), модуль PECVD, модуль ICP - CVD, модуль RIE
Основные возможности:
- Работа с подложками до 300 мм
- Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров
- Возможность магнетронного напыления до 4-х материалов одновременно
- Подвод до 8 технологических газов
- Нагрев (до 800°С), охлаждение (до -25°С)
- Возможность измерения напряжения на тонких подложках, чувствительных к температуре
- Быстрый и удобный доступ к модулю
- Независимая система откачки
- Несколько установок Radiance SPM могут быть соединены друг с другом, а также с Radiance BPM в одну производственную линию
- ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Evatec |
| Страна производитель | Швейцария |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
