Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec Radiance BPM
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec Radiance BPM
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
Универсальная кластерная система
Система BPM может конфигурироваться шестью различными процессными модулями: магнетронное напыление на постоянном токе (DC), магнетронное напыление на ВЧ токе (RF), комбинированное напыление (DC/RF), напыление со смещением, дегазация и мягкое травление
Основные возможности:
- Работа с подложками до 300 мм
- Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров
- Возможность магнетронного напыления до 4-х материалов одновременно
- Подвод до 4 технологических газов к одному процессному модулю
- Нагрев (до 500°С), охлаждение и вращение подложек во время процесса
- Возможность установки системы оптического контроля для отслеживания оптических свойств растущей пленки
- Быстрый и удобный доступ к каждому модулю и ко всей камере
- Регулируемое расстояние от распыляемой мишени до подложки (до 135 мм)
- Несколько установок Radiance BPM могут быть соединены друг с другом, а также с Radiance SPM в одну производственную линию
- ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Evatec |
| Страна производитель | Швейцария |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
