Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec SOLARIS S151
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Кластерная установка вакуумного осаждения Evatec SOLARIS S151
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
Пропускная способность установки позволяет обрабатывать 1200 подложек размером до 8” за час. Обрабатываемые подложки могут быть как гибкими, так и жесткими. Основная область применения – производство сенсорных экранов, солнечных батарей и светодиодов. Установка SOLARIS S151 предлагает следующий комплекс процессов: магнетронное напыление, нагрев, отжиг, травление, «flash» - распыление (частицы распыляемого вещества дозировано подаются на сильно разогретую поверхность и испаряются мгновенно)
Основные возможности:
- Гибкая конфигурация – каждая процессная камера отделена от соседних
- Модульная конструкция подложкодержателя позволяет быстро переоснащать систему под подложки различных типоразмеров
- Возможность магнетронного напыления до 4-х материалов одновременно
- Высокая пропускная способность – до 1200 подложек 8” в час
- Равномерность слоя до ±2% за счет вращения подложек во время процесса
- Максимальная область покрытия во время процесса – окружность диаметром 225 мм
- Отжиг при температуре до 550°С
- Чистка и активация поверхности с помощью травления
- Простая интеграция в производственный процесс
- Быстрая замена мишеней и защитных экранов
- ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Evatec |
| Страна производитель | Швейцария |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
