Установка вакуумного напыления Evatec BAK 1101
- Под заказ
Отправка с 27 мая 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 1101
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
Идеально подходит для высокоточной оптики в случае конфигурации с плазменным источником или для силовой электроники в случае двусторонней металлизации. При всех тех же возможностях что и у младших установок ВАК 1101 предоставляет огромный потенциал, в том числе и возможность работы с подложками 12” и выше
Основные возможности:
- Обработка большого количества подложек за один процесс
- Огромные возможности для конфигурирования
- Резистивные испарители
- Магнетронные и плазменные источники
- Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
- Плазменная очистка тлеющим разрядом
Контроль процесса:
- ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.
- Кварцевый и оптический мониторинг
- Анализатор остаточного газа
- Оптическая пирометрия
- Полная SECS GEM совместимость
Геометрия вакуумной камеры:
- Стандартная камера – для типичных металлов и диэлектриков
- Увеличенная дистанция – для Lift-off
- Отдельный шлюз для источников испарения – для удобства обслуживания
- Подготовка для расширения модулем автоматического загрузчика Load lock
Подложкодержатели:
- Стандартные сферические
- С возможностью переворота
- Планетарные с 1ой и 2мя осями вращения
- Разработка спец оснастки
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Evatec |
| Страна производитель | Швейцария |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
