Установка вакуумного напыления Evatec BAK 901
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Установка вакуумного напыления Evatec BAK 901
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Описание:
С размерами партий 51 (4”) и 23 (6”) подложки в стандартной калотте ВАК-901 предлагает на 25% больше производственной мощности чем ВАК-761. Большая вакуумная камера позволяет разместить различные комбинации электронных пушек, лодочек и ионного источника. При этом остается много свободного пространства для комфортного обслуживания источников напыления.
Основные возможности:
- Работа с большими партиями
- Электронно-лучевая пушка до 3-х
- Резистивные испарители
- Магнетронные и плазменные источники
- Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
- Плазменная очистка тлеющим разрядом
- ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.
- Кварцевый и оптический мониторинг
- Анализатор остаточного газа
- Оптическая пирометрия
- Полная SECS GEM совместимость
Геометрия вакуумной камеры:
- Стандартная камера – для типичных металлов и диэлектриков
- Увеличенная дистанция – для Lift-off
- Отдельный шлюз для источников испарения – для удобства обслуживания
- Подготовка для расширения модулем автоматического загрузчика Load lock
Подложкодержатели:
- Стандартные сферические
- С возможностью переворота
- Планетарные с 1ой и 2мя осями вращения
- Разработка спец оснастки
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Evatec |
| Страна производитель | Швейцария |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
