Установка вакуумного напыления Evatec BAK 761
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание:
Вакуумная система напыления BAK761 пользуется всемирной репутацией как эталон экономичного, массового производства, используемый в широком ряде приложений, требующих высокой точности в формировании покрытия и повторяемости в больших объемах производства. Ионное травление и термическое осаждение, “Lift-off” и напыление диэлектриков все это – может быть реализовано на одной гибкой платформе BAK-761
Основные возможности:
- Электронно-лучевая пушка до 3-х
- Резистивные испарители
- Магнетронные и плазменные источники
- Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
- Плазменная очистка тлеющим разрядом
Контроль процесса:
- ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.
- Кварцевый и оптический мониторинг
- Анализатор остаточного газа
- Оптическая пирометрия
- Полная SECS GEM совместимость
Геометрия вакуумной камеры:
- Стандартная камера – для типичных металлов и диэлектриков
- Увеличенная дистанция – для Lift-off
- Отдельный шлюз для источников испарения – для удобства обслуживания
- Подготовка для расширения модулем автоматического загрузчика Load lock
Подложкодержатели:
- Стандартные сферические
- С возможностью переворота
- Планетарные с 1ой и 2мя осями вращения
- Разработка спец оснастки
Производительность с различными типами подложкодержателей
Split Systems – Техническое решение компании Evatec
Решение Split Systems подразумевает расположение испарителя и подложек в раздельных вакуумных камерах. Split Systems реализуется в установках семейства BAK и в полной мере использует их широкий функционал в виде контроля за процессом и удобного программного обеспечения. Это решение позволяет держать испаритель под постоянным вакуумом даже во время загрузки – выгрузки подложек, исключая негативное воздействие атмосферы на навеску материала.
Основные возможности:
- Высокая стабильность работы испарителя
- Ускоренное проведение процессов за счет отсутствия необходимости прогревать навеску материала перед напылением
- Идеально подходит для работы с материалами, чувствительными к воздействию окружающей среды
- Легкий доступ к испарителю и удобное обслуживание
Спецификация пленок (на пластинах диаметром 4 дюйма)
|
|
Равномерности |
|||||
|
Система |
Пленка |
Толщина |
Скорость |
По пластине |
Пластина к пластине |
Между процессами |
|
BAK |
Cu |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
NiCr |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
|
Cr |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
|
Ti |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
|
Al |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
|
Ag |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
|
Au |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
|
Cr |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Evatec |
| Страна производитель | Швейцария |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
