Установка вакуумного напыления Evatec BAK 641
- Под заказ
Отправка с 27 мая 2026Цену уточняйте
Описание:
Вакуумная система напыления BAK-641 обладает достаточной вместительностью, чтобы разместить несколько источников и процесс аксессуаров, включая ионные источники, систему нагрева подложек с лицевой и обратной стороны. BAK-641 является идеальным выбором для нанесения высокоточных секвенций слоев для прецизионной оптики и оптоэлектроники. Оптимальная конструкция и эргономика системы позволит создать идеальный проводящий контакт на основе ITO, а возможность размещения и одновременной работы 2-х электронных пушек, обеспечит возможность роста надежным, многокомпонентным слоям для датчиков и силовой электроники
Основные возможности:
- Электронно-лучевая пушка
- Резистивные испарители
- Магнетронные источники
- Нагрев подложек (лицевая, обратная сторона)
- Плазменная очистка тлеющим разрядом
- Ионный источник
- Держатели и системы крепления подложек в соответствии с требованиями заказчика
Контроль процесса:
- ПО с дружественным интерфейсом, позволяющее пошагово отслеживать и создавать процесс от откачки до напуска.
- Кварцевый и оптический мониторинг
- Анализатор остаточного газа
- Полная SECS GEM совместимость
Производительность
Split Systems – Техническое решение компании Evatec
Решение Split Systems подразумевает расположение испарителя и подложек в раздельных вакуумных камерах. Split Systems реализуется в установках семейства BAK и в полной мере использует их широкий функционал в виде контроля за процессом и удобного программного обеспечения. Это решение позволяет держать испаритель под постоянным вакуумом даже во время загрузки – выгрузки подложек, исключая негативное воздействие атмосферы на навеску материала.
Основные возможности:
- Высокая стабильность работы испарителя
- Ускоренное проведение процессов за счет отсутствия необходимости прогревать навеску материала перед напылением
- Идеально подходит для работы с материалами, чувствительными к воздействию окружающей среды
- Легкий доступ к испарителю и удобное обслуживание
Спецификация пленок (на пластинах диаметром 4 дюйма)
|
Равномерности |
||||||
|
Система |
Пленка |
Толщина |
Скорость |
По пластине |
Пластина к пластине |
Между процессами |
|
BAK |
Cu |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
NiCr |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
|
Cr |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
|
Ti |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
|
Al |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
|
Ag |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
|
Au |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
|
Cr |
100 |
По требованию заказчика |
+/-5% |
+/-5% |
+/-5% |
|
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Evatec |
| Страна производитель | Швейцария |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
