Установка совмещения Idonus SMA
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание:
Осаждение тонких пленок через маску - это мощный инструмент формирования PVD слоев. Вы пропускаете этап фотолитографии и мокрого или сухого травления, очень точно осаждая слой пленки через маску.
Компания Idonus предлагает высокоточную систему совмещения маски с пластиной. Оборудование обеспечивает высокую повторяемостью результата. Система оборудована специальным антивибрационным держателем. Используя микроскоп можно добиться точности совмещения в 6 микрон. После совмещения держатель может быть помещен в вакуумную камеру PVD.
После осаждения маска может быть отделена от пластины, разъединив крепление держателя, далее маску можно использовать повторно. Могут быть поставлены держатели под разные размеры пластин и масок.
Основные возможности:
- Вакуумный держатель пластин
- Вакуумный держатель масок
- Простой механизм фиксации пластин
- Антивибрационный держатель для PVD
- Идеальна для различных размеров пластин
- Не требует инсталляции
- Низкие расходы на запуск
Схема
Изображение системы для пластин 100 мм с держателем готовым к совмещению
Схема держателя
Изображение установки подготовленной к загрузке пластины.
Нижняя часть отодвинута для загрузки пластины в нижний держатель (маска не загружена на изображении)
Блок распределения воздуха.
Блок распределения вакуума для индивидуального переключения и регулировании вакуума на различные держатели.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Idonus |
| Страна производитель | Швейцария |
| Пользовательские характеристики | |
| Дополнительный сервис | Установка |
- Цена: Цену уточняйте
