Платформа для временного сращивания пластин SUSS XBS300

Вам необходимо

Решения XBS300

Гибкость процесса

• Универсальная платформа для сращивания пластин 200 / 300 мм
• Работает со всеми доступными адгезивами
• Технологические модули включают в себя установку нанесения, камеру плазмохимического осаждения, камеру сращивания с низким усилием, нагревательную/охлаждающую пластину
• Разработка процесса и производство на одном устройстве

Производственные возможности

• Полностью автоматическая платформа
• До 4 загрузочных портов с отдельным модулем сопряжения EFEM
• До 4 положений модуля на ячейке рамы и дополнительный модуль расширения для конфигурирования установки под крупносерийное производство. Ячейки рамы можно группировать.
• Измерение толщины пластины
• Надежное кластерное ПО с опциями автоматизации производства

Низкие эксплуатационные затраты

• Небольшое основание
• Высокая пропускная способность
• Отличная стабильность температуры и силы сращивания для обеспечения макс. производительности
• Наращиваемая и модернизируемая архитектура

Общие характеристики

Размер подложки

пластины 200 / 300 мм; совместимость с нестандартными подложками (201 / 301 мм) 

Загрузочный порт

Полностью автоматический загрузочный порт FOUP, FOSB со встроенным считывателем идентификатора РЧ, адаптер кассет и пластин 200 мм

Перемещение пластин

Шестикоординатный робот  со встроенной функцией переворота пластин, установка предварительного совмещения с камерой, дополнительный ID-считыватель для пластин

Пользовательский интерфейс

ОС Windows XP с ПО SUSS MMC, сенсорный экран и клавиатура с указывающим устройством

Обработка подложек

Полностью программируемое кластерное устройство с опциями производственной автоматизации

сертификаты

Semi S2 и S8

SC300 – модуль нанесения

Основной модуль

Запатентованный модуль нанесения GYRSET с держателем с закрытой крышкой

Контроль скорости вращения

± 1 об/мин с цифровым контроллером двигателя

Линий распыления

до двух рук
до трех 3 линий для подачи адгезива с опцией контроля температуры адгезива для рук подачи адгезива

до трех линий проявителя для рук проявления (такие как подача растворителя, EBR и очистки держателя)

Опции

широкий выбор насосов и систем распыления, удаление наплыва резиста с кромки и промывка обратной стороны, расходомеры

PL300T – Модуль плазменного осаждения

Основное устройство

Вакуумная камера для процесса плазменного осаждения

Газы

запатентованный газ TMAT, O2, до 2 чистящих газов

Газовые контроллеры

4 MFC

Источник плазмы

внутренний генератор, 13.56 МГц

Настройка

автоматическая

Контроль температуры держателя

охлажденная вода

Доступ к камере

VAT-дверца с продувкой N2

Этажерочный модуль - рабочая камера, нагревательная и охлаждающая плиты

Рабочая камера

Процессы сращивания

Настройка A: ультранизкое усилие (на основе кремния и УФ-отверждаемых адгезивов)

Настройка Б: термокомпрессионное сращивание с низким усилием

Температура LF300

до 250 °C

Мин. базовый вакуум

< 5 мбар

Вакуумирование

< 60 сек

Сила сращивания (при 300мм)

Настройка A: 20 Н - 500 Н 

Настройка B: 300 Н - 8 кН

Технологический газ

Стандартно N2, дополнительно 1 MFC

Совмещение

Межцентровое совмещение +/- 50 мкм Вращение бороздки 0.1°

Кол-во камер

до 4 камер LF300 на модуль

Тип камеры

Герметичная камера с вытяжкой N2

Нагревательная плита

Температура нагревательной плиты

до 250 °C 

опция: до 350 °C

Стабильность температуры

± 0.4 °C до 120 °C 

± 1 % > 120 °C

Способ спекания

Программируемый зазор с фиксированным мин. микрозазором

Охлаждающая плита

Температура охлаждающей плиты

от 15 до 30 °C

Контроль температуры

± 0.2 °C

Способ охлаждения

Программируемый зазор с фиксированным мин. микрозазором

Измерения

Измерение толщины

Лазерные датчики

Точность измерения

< 0.2 мкм

Кол-во точек измерения

Многоточечное, программируется

Опции

Очистка воздуха

Фильтрующие блоки
Ионизаторы
Автономная чистая комната

Коммуникации

Вакуум

мин. -0.8 бар, +/-5 %

Сжатый сухой воздух

8 бар, +/-10 %

Азот

8 бар, +/-10 %

Питание

Зависит от конфигурации