Система для выращивание нанотрубок и нанопроводов плазмохимическим способом Oxford Instruments Nanofab
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Система для выращивание нанотрубок и нанопроводов плазмохимическим способом Oxford Instruments Nanofab
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Системы предназначены для процессов выращивания наноструктур (нанотрубки и нанопровода), с контролируемыми параметрами роста. Nanofab также позволяет проводить процесс PECVD при стандартной и высокой температурах.
Технологические особенности системы:
- настраиваемый процесс выращивания нанопроводов и нанотрубок с температурой процесса до 1200 °С;
- дополнительная система жидкостного нанесения меток роста;
- охлаждаемые стенки и газовый душ обеспечивают равномерную доставку прекурсора;
- проведение процесса PECVD (осаждение оксидов, нитридов, оксинитридов);
- наличие загрузочного шлюза;
- распределение поля температур по пластине около 1оС
- размер подложек от малых образцов произвольной формы до пластин диаметром 200 мм;
- возможность установки эллипсометра и/или эмиссионного спектрометра
- опционально - смещение на подложке
- возможность объединяться в кластер с другими системами OIPT
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Oxford Instruments |
| Страна производитель | Великобритания |
- Цена: Цену уточняйте
