Платформа плазменного травления Oxford instruments PlasmaPro800
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Платформа плазменного травления Oxford instruments PlasmaPro800
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Высокопроизводительная система с открытой загрузкой для процессов травления.
PlasmaPro 800 RIE позволяет проводить процессы реактивного ионного травления на больших подложках для создания сложных полупроводников, оптоэлектроники и фотоники и обеспечивает:
- высокую производительность процессов
- превосходный контроль температуры подложки
- точный контроль процесса
- определения конечной точки травления для надежности и удобства эксплуатации
- широкие диапазон электродных размеров и размер партий
- 4, 8 или 12 газовых линий для технологических процессов, причем баллоны с газами могут располагаться в сервисном помещении
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Oxford Instruments |
| Страна производитель | Великобритания |
- Цена: Цену уточняйте
