Описание
Характеристики
Информация для заказа
Компактная система с открытой загрузкой спроектирована для получения высококачественных диэлектрических пленок.
Система плазмо-химического осаждения из газовой фазы. PECVD модули спроектированы для производства пленок с высокой равномерностью и скоростью осаждения. Система позволяет превосходно контролировать свойства пленок, такие как коэффициент преломления, поверхностное напряжение, электрические характеристики и скорость осаждения.
- открытая загрузка пластин
- компактные габариты
- подходит для исследовательских целей и мелкосерийного производства
- подложки диаметром до 200 мм
- быстрая загрузка-выгрузка пластин
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Oxford Instruments |
| Страна производитель | Великобритания |
- Цена: Цену уточняйте


Отправка с 13 июня 2026