Платформа для компактных систем Oxford Intruments PlasmaPro 80 Cobra ICP etch
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Платформа для компактных систем Oxford Intruments PlasmaPro 80 Cobra ICP etch
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Компактная система для травления в индуктивно-связанной плазме с открытой загрузкой. Источник индуктивно-связанной плазмы модели Cobra, диаметром 65 мм.
Системы на платформе PlasmaPro 80 идеально подходят для научных исследований и разработок или мелкосерийного производства, размеры подложек могут доходить до 200 мм. Отсутствие шлюзовой камеры обеспечивает быструю загрузку-выгрузку пластин, что идеально подходит для исследовательских работ, создания опытных образцов и мелкосерийного производства.
Технологические особенности системы:
- компактные габариты
- диаметр пластин до 200 мм
- низкая себестоимость продукции
- оптимизированная система охлаждения электрода
- превосходный контроль процесса
- превосходная равномерность температурного поля по пластине (подложке)
- гибкие пользовательские настройки
- большое количество возможных процессов
- превосходный контроль процесса травления и определение скорости процесса
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Oxford Instruments |
| Страна производитель | Великобритания |
- Цена: Цену уточняйте
