Платформа для компактных систем Oxford Intruments PlasmaPro 80 compact RIE
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Платформа для компактных систем Oxford Intruments PlasmaPro 80 compact RIE
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
PlasmaPro 80 компактная система реактивного ионного травления с открытой загрузкой. Простая в использовании система с возможностью реализации высококачественных процессов.
Системы на платформе PlasmaPro80 идеально подходят для научных исследований и разработок или мелкосерийного производства, размеры подложек могут доходить до 200 мм. Отсутствие шлюзовой камеры обеспечивает быструю загрузку-выгрузку пластин, что идеально подходит для исследовательских работ, создания опытных образцов и мелкосерийного производства.
Технологические особенности системы:
- малый размер системы
- размер подложки до 200 мм в диаметре
- низкая себестоимость
- превосходный контроль процесса травления
- турбомолекулярный насос обеспечивает высокую скорость откачки и низкое базовое давление
- регистрации данных каждые 500мс позволяет определить состояние системы в любой момент времени
- оптическая эмиссионная спектрометрия для определения конечной точки травления или окончания очистки камеры
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Oxford Instruments |
| Страна производитель | Великобритания |
- Цена: Цену уточняйте
