Платформа высокопроизводительного травления Oxford Instruments PlasmaPro Estrelas100
- Под заказ
Отправка с 26 мая 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Платформа высокопроизводительного травления Oxford Instruments PlasmaPro Estrelas100
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
PlasmaPro Estrelas100 обеспечивает максимальную гибкость процессов. Благодаря аппаратной части, позволяющей осуществлять Bosch-процесс и криогенное травление в одной камере, данная система обеспечивает возможность создания как микро-, так и наноструктур. Технология глубокого кремниевого травления от Oxford Instruments реализованная на PlasmaPro Estrelas100 обеспечивает лучшую в отрасли производительность процесса.
Технологические особенности системы:
- размер подложек от 50 до 200 мм
- нагрев вкладышей камеры до 150 С
- гибкая конфигурация системы, обеспечивающая возможность разрабатывать устройства, техпроцесс изготовления которых может быть внедрен в производство с использованием того же оборудования
- электростатический зажим образца
- улучшенная стабильность плазмы, устраняющая эффект "первой пластины"
- уменьшенный эффект накопления полимерных отложений, что увеличивает среднее количество обрабатываемых пластин между механическими чистками
- быстродействующие регуляторы расхода газа, изначально спроектированные для атомно-слоевого осаждения
- уменьшенный объем рабочей камеры, позволяющий увеличить скорость прокачки газа и уменьшить шаг технологических процессов
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Oxford Instruments |
| Страна производитель | Нидерланды |
- Цена: Цену уточняйте
