Электронно-лучевой литограф Raith VOYAGER

Описание:

VOYAGER – это новый прибор класса высокопроизводительных электронно-лучевых литографов; построен на инновационной технологии Raith eWrite. 

Рекомендован в областях, связанных как с серийным производством, так и с научно-исследовательскими работами, где требуется высокая производительность и максимум пространственного разрешения. Инновационная архитектура и высокие показатели спецификации разработаны для получения точных результатов при высокой скорости экспонирования и при весьма низкой стоимости владения прибором. VOYAGER, таким образом, снижает барьер для доступа в сферу профессиональной, ориентированной на высокую производительность электронно-лучевой литографии. 

VOYAGER – первая система, в которой реализована новая технология Raith eWrite. eWrite объединяет в себе специализированную «выделенную» архитектуру электронно-лучевой колонны и паттерн-генератора, позволяющую осуществлять автоматизацию калибровок системы и высокую скорость при серийном производстве. 

Концепцию VOYAGER подчеркивает: 

• инновационная архитектура системы 
• сниженные требования к условиям эксплуатации в помещении и малое занимаемое пространство 
• производительность экспонирования более 1 см2/час 
• невысокая стоимость владения 

VOYAGER  разработан для обеспечения высокой скорости экспонирования с автоматизированной системой калибровки «на лету» при сохранении максимальной точности и разрешения. Это обеспечивает быстрый поток образцов от проектирования до выгрузки готового образца. Интегрированное программное обеспечение Raith NANOSUITE является интуитивно понятной платформой и предоставляет даже новым пользователям полноценный контроль всего процесса ЭЛЛ.

VOYAGER  позволяет осуществлять литографирование как на образцах малых площадей, так и работу на пластинах размером вплоть до 8 дюймов. 

Архитектура VOYAGER была построена в соответствие с важными требованиями пользователей к производительности и на основе обратной связи заказчиков Raith. Благодаря smart-интеграции в окружающую среду, защитный кожух VOYAGER делает возможным работу в широком диапазоне вариации температуры окружающей среды лабораторных помещений и уровня шума. Экспонирование можно проводить с ультра-высоким, суб-10 нм разрешением при работе на пластинах вплоть до 8 дюймов. В добавок к функционалу ЭЛЛ, VOYAGER обладает режим РЭМ-изображения с высоким разрешением и разнообразными функциями метрологии и инспекции результатов.

VOYAGER предоставляет инновации как в архитектуре системы, так и в реализации приложений. Инновационные стратегии экспонирования, такие как режимы сшивки с нулевой ошибкой (traxx и periodixx) или FLEXposure (гибкие режимы направленного сканирования), самая современная электростатическая архитектура электронно-лучевой колонны и низко-шумная электроника дают отличные результаты и расширяют потенциал электронно-лучевой литографии. VOYAGER подготовлен к задачам ЭЛЛ будущего.

Скорость и высокая производительность

Электронная оптика обеспечивает ток пучка до 40 нА. Большое поле экспонирования, 500 мкм, снижает необходимость в частых перемещениях стола и большом количестве сшивок. Паттерн-генератор 50 МГц построен в соответствии с последними стандартами в области дизайна электроники. Его высокоэффективный поток данных полностью решает проблемы применения в фотонике и оптике, где требуется оперировать большим комплексным массивом данных. VOYAGER способен экспонировать 1 см2 комплексных данных растрового массива в оттенках серого менее чем 1 час!

• Интуитивно понятная оболочка Windows® 7
• Автоматическая фокусировка и настройка стигматора
• Преднастройки в один клик для высокого разрешения или высокой пропускной способности (например, элементы структур большого размера)
• Комплексная единая оболочка Raith NANOSUITE с GDS II CAD редактором
• Коррекция эффекта близости
• До 500 мкм поля экспонирования с динамическими коррекциями в реальном времени
• Самое современное поколение архитектуры электростатических дефлекторов 
• Паттерн-генератор 50 МГц
• Более 1 см2 / ч (при 50% заполнении)
• Более 50 инженеров поддержки по всему миру 
• Автоматическое переключение между режимами пропускной способности и высокого разрешения

Экономичная в эксплуатации.

• Защитный кожух экономит затраты на микроклимат в лабораторных помещениях в течение всего жизненного цикла прибора
• Компактность, чтобы сохранить дорогостоящее лабораторное пространство
• Загрузка образца через стенку (split-room setup) позволяет установку системы вне пространства дорогостоящих чистых комнат
• Встроенная функция визуализации с высоким разрешением, навигация по образцу 
• Экономически выгодная замена катода вместо катодного узла (пушки) части колонны 
• Гибкая схемы обслуживания и поддержки поможет сохранить стоимость владения низкой

Split-room setup

Инновационные и уникальные методы экспонирования

Стандартный режим пошагового и повторяющегося экспонирования подразумевают ошибки сшивки полей и ошибки наложения полей. Этого можно полностью избежать, выбрав уникальные методы Raith непрерывного и бесшовного экспонирования traxx и periodixx, используя разработанную Raith технологию экспонирования лазерным интерферометрическим столиком при фиксированном луче (FBMS) и экспонирования лазерным интерферометрическим столиком при модулированном пучке (MBMS). Качество получаемых структур и устройств, особенно в оптических и оптоэлектронных применениях, таких как: решетки большой площади, френелевские линзы, волноводы или фотонные кристаллы, - может быть значительно улучшено. 

Экспонирование сложных форм и сверхмалых наноструктур может требовать специфических стратегий для оптимальной точности и расположения рисунка. Режимы Raith FLEXposure направленного сканирования помогают оптимизировать и значительно улучшить воспроизводимость запроектированных форм, особенно в отношении к нанометровым величинам производственных допусков. 

FLEXposure. 
Каждому элементу дизайна в GDS II 
может быть сопоставлен выбираемый пользователем 
метод экспонирования. 
5 основных методов и 47 подрежимов.

Основные применения

• Высокая скорость прямого экспонирования (direct write) 
• Дифракционные оптические элементы 
• Оптические структуры для элементов защиты от подделок 
• Серийное производство полупроводниковых приборов 

Технические характеристики:

Дополнительное оборудование:

• Интегрируемый модуль наклона и поворота образца 
• Активная платформа виброподавления, активная система подавления шумов магнитного поля 
• Automatic Height Sensing 

Программное обеспечение:

Raith Nanosuite. Стандарт GDSII. Единый модуль дизайна CAD-объектов с привязкой к слоям, параметрам экспонирования, контролем позиционирования в системе координат образца, контролем колонны, скриптингом, макросами, автоматизацией, режимами “FLEXposure” и т.д., коррекцией эффекта близости, литографией в 3D.