Электронно-литографическая приставка для микроскопа Raith Elphy Quantum
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Описание:
Электронно-литографическая приставка для растрового электронно-лучевого или ионно-лучевого микроскопа - универсальное бюджетное решение, позволяющее оборудовать РЭМ базовыми возможностями электронно-лучевой литографии (дизайн паттернов, работа с параметрами экспонирования, возможность выравнивания по маркерам при наложении литографических слоев для процессов типа step&repeat). Мультиплицирующие цифро-аналоговые преобразователи позволяют получать высокую точность калибровки координат внутри поля экспонирования.
ELPHY Quantum – специально разработанный 16-битный аппаратный модуль, позволяющий работать на скоростях цифро-аналоговых преобразователей вплоть до 6 МГц. Модуль интегрирован в соответствующий последнему слову техники управляющий компьютер с программной средой Windows.
Технология
- Raith
Программное обеспечение
Raith Nanosuite. Стандарт GDSII. Единый модуль дизайна CAD-объектов с привязкой к слоям, параметрам экспонирования, контроль позиционирования в системе координат образца, коррекция эффекта близости, литография в 3D, многопользовательский интерфейс
Технические характеристики
|
Скорость экспонирования |
6 МГц |
|
Управляющие сигналы (TTL) |
|
|
Цифроаналоговые преобразователи |
|
|
Режимы и характеристики |
|
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Raith |
| Страна производитель | Германия |
- Цена: Цену уточняйте
