Ионно-лучевой литограф Raith ionLINE

Описание:

Литографическая рабочая станция ionLiNE представляет собой новый класс ионно-лучевых систем. ionLiNE - это результат разработок международного европейского проекта NanoFIB - высокостабильной ионно-лучевой колонны - и многолетнего опыта компании Raith в проектировании и разработке прецизионных электронно-литографических систем. Для ionLiNE характерны высокая стабильность параметров пучка, возможность работы при низких дозах, высокое пространственное разрешение (как в режиме получения изображений, так и при обработке), высокая точность позиционирования и малый дрейф образца. Cтабильность параметров системы и применение методов автоматической корректировки (дрейфа, фокусировки) позволяет осуществлять длительную работу с образцами как малой, так и большой площади поверхности.

Особенности:

• В систему интегрирован предметный стол, контролируемый лазерным интерферометром, что обеспечивает точность позиционирования 1-2 нм. При этом имеется функция наклона и поворота.
• Программное обеспечение позволяет реализовать широкий диапазон техник литографирования и прямой обработки поверхности ионным пучком, включая локальное травление и осаждение материалов.
• В системе управления комплексом реализован многопользовательский подход, что немаловажно для автоматизации работы в междисциплинарных центрах и центрах общего пользования при эксплуатации прибора несколькими операторами.
• Рабочая станция ionLiNE обеспечивает выполнение самых сложных литографических задач с максимально высокой точностью и воспроизводимостью: сшивка и выравнивание полей экспонирования, многослойная литография с высокоточным наложением (включая метод mix&match),задачи типа step&repeat, бесшовное рисование объектов с высоким аспектным соотношением – например, световодов для волновой оптики шириной в десятки нанометров и длиной до нескольких сантиметров с помощью уникальной технологии рисования высокоточным столиком при неподвижном пучке.
• Система ionLiNE предоставляет возможность как работы на плоских образцах (2D) , например, пластин диаметром вплоть до 6 дюймов, так и на образцах с выраженной топографией (3D). Одна из ключевых особенностей ionLiNE – это трехмерная литография как с помощью специальных резистов, так и методами прямой обработки образца ионным пучком.
• Возможности ionLiNE могут быть расширены с помощью комплектации системы наноманипуляторами, газовой инжекционной системой, оптическим макроскопом, шлюзом.

Технология

• NanoFIB

ПО

Raith Nanosuite. Стандарт GDSII. Единый модуль дизайна CAD-объектов с привязкой к слоям, параметрам экспонирования, контроль позиционирования в системе координат образца, скриптинг, автоматизация, “Live process monitor”, “DirectAlignDesign”, “Flexposure”.

Технические характеристики

Дополнительное оборудование

• Система газовой химии на 5 линий. Полный спектр газообразных реактивов-прекурсоров.
• Установка до 2х микроманипуляторов, работающих в картезианской системе координат, для механического воздействия на нанообъекты и проведения электрических измерений in situ.