Полностью автоматическая система совмещения и экспонирования ABM/6/350/NUV/DCCD/FA
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Полностью автоматическая система совмещения и экспонирования ABM/6/350/NUV/DCCD/FA
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Основные технические характеристики
- Точность переднего совмещения: +/- 1 микрон
- Система совмещения: ПЗС-камера с расщеплённым полем
- Диапазон расщеплённого поля: от 10 до 150 мм
- Длина волны источника излучения: ближний УФ- 365 нм, 400 нм; дальний УФ- 220 нм, 254 нм
- Размер области однородного излучения: 6”
- Однородность пучка:
- < ±1% в пределах области 2” (круг)
- < ±2% в пределах области 4” (круг)
- < ±3% в пределах области 6” (круг)
- Размеры подложек: от 2” до 6” (круглые)
- Размеры масок: от 3” до 7” (квадратные)
- Рабочий режим: контакт и экспонирование с зазором
- Максимальный зазор между маской и подложкой: 300 микрон
- Ключ совмещения: стандартное изображение в виде креста
- Электромеханическое перемещение рабочего столика
- Автоматическая планаризация по оси Z, компенсация клина и выравнивание.
- 17” ЖК-монитор с высоким разрешением
- 15” сенсорный экран HMI.
- Система управления: ПК/программируемый логический контроллер.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | ABM |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
