Ручная система совмещения по лицевой стороне большой площади (8”) ABM/8/500/NUV/DCCD/M
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Ручная система совмещения по лицевой стороне большой площади (8”) ABM/8/500/NUV/DCCD/M
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Основные технические характеристики
- Размер области однородного излучения: 8”
- Однородность пучка:
- < ±1% в пределах области 4” (квадрат)
- < ±2% в пределах области 6” (квадрат)
- < ±3% в пределах области 8” (квадрат)
- Разрешающая способность:
- < 0.5 микрон для вакуумного и жёсткого контакта (экспонирование в ближнем УФ)
- < 0.8 микрон для мягкого контакта
- < 1 микрон для зазора 50 микрон
- < 2 микрона для зазора 100 микрон
- Точность совмещения: +/- 0.5 микрон
- Работа с позитивными, негативными и толстыми фоторезистами, толщина фоторезиста SU-8 до 300 микрон в пропорции до 10:1
- Мягкий, жёсткий, вакуумный контакт и экспонирование с зазором
- Управляющий источник питания с постоянной интенсивностью и мощностью
- Источник света для ближнего УФ, 500 Вт, 8” (с широкополосным зеркалами 365/400/436 нм)
- 365 нм: выходная интенсивность – 18-20 мВт/см2
- 400 нм: выходная интенсивность – 35-40 мВт/см2
- 436 нм: выходная интенсивность – 8-10 мВт/см2
- 8” источник излучения для экспонирования, спектральные линии G, H и I
- Ближний и дальний диапазон УФ излучения
- Работа с 2”- 8”, круглыми и квадратными подложками
- Сдвоенная ПЗС-камера и микроскоп, с единым и расщеплённым полем (опция)
- Возможность расширения до двухсторонней системы экспонирования (опция).
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | ABM |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
