Ручная система двустороннего совмещения и экспонирования ABM/6/350/NUV/DCCD/BSV/M
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Ручная система двустороннего совмещения и экспонирования ABM/6/350/NUV/DCCD/BSV/M
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Основные технические характеристики
- Точность совмещения по обратной стороне +/- 0.5 микрон
- Работа с позитивными, негативными и толстыми фоторезистами, толщина фоторезиста SU-8 до 300 микрон в пропорции до 10:1
- Мягкий, жёсткий, вакуумный контакт и экспонирование с зазором
- Управляющий источник питания с постоянной интенсивностью и мощностью
- Источник света для ближнего УФ, 350 Вт, 6” (с широкополосным зеркалами 365/400/436 нм)
- 365 нм: выходная интенсивность – 20-22 мВт/см2
- 400 нм: выходная интенсивность – 40-45 мВт/см2
- 436 нм: выходная интенсивность – 10-12 мВт/см2
- 6” источник излучения для экспонирования, спектральные линии G, H и I
- Работа с 2”, 3” ,4”, 6” круглыми и квадратными подложками
- Регулируемый по мощности 2-х канальный источник питания для ближнего УФ с постоянной интенсивностью, мощность 350 Вт
- Источники питания 500, 1000 и 2000 Вт в ближнем и дальнем УФ (опция)
- Сдвоенная ПЗС-камера и микроскоп, с единым и расщеплённым полем (опция)
- Система совмещения по обратной стороне в инфракрасном и видимом диапазонах.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | ABM |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
