Ручная система одностороннего совмещения и экспонирования ABM/6/350/NUV/DCCD/M
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Ручная система одностороннего совмещения и экспонирования ABM/6/350/NUV/DCCD/M
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Основные технические характеристики
- Размер области однородного излучения: 6”
- Однородность пучка:
- < ±1% в пределах области 2” (круг)
- < ±2% в пределах области 4” (круг)
- < ±3% в пределах области 6” (круг)
- Разрешающая способность:
- < 0.5 микрон для вакуумного и жёсткого контакта (экспонирование в ближнем УФ)
- < 0.3 микрон для вакуумного и жёсткого контакта (экспонирование в дальнем УФ)
- Точность совмещения : +/- 0.5 микрон
- Работа с позитивными, негативными и толстыми фоторезистами, толщина фоторезиста SU-8 до 300 микрон в пропорции до 10:1
- Мягкий, жёсткий, вакуумный контакты и экспонирование с зазором
- 6” источник излучения для экспонирования, спектральные линии G, H и I
- Работа с 2”, 3” ,4”, 6” круглыми и квадратными подложками
- Регулируемый по мощности 2-х канальный источник питания для ближнего УФ с постоянной интенсивностью, мощность 350 Вт.
- Источники питания 500, 1000 и 2000 Вт в ближнем и дальнем УФ (опция)
- Сдвоенная ПЗС-камера и микроскоп, с единым и расщеплённым полем (опция).
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | ABM |
| Страна производитель | США |
- Цена: Цену уточняйте
