Вакуумный кластерный инструмент PICOSUN PICOPLATFORM 300
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
Вакуумный кластерный инструмент PICOPLATFORM 300 предлагает непревзойденное качество процесса АСО, высокую производительность и уникальный принцип модульности с полностью стандартизированными автоматизированными решениями для производств в больших объемах.
Система состоит из процессных модулей, размещенных вокруг центрального вакуумного роботизированного блока Brooks Marathon 2, и загрузочной станции с несколькими блоками типа Front Opening Unified Pod (FOUP). Данная станция предназначена для автоматизированного переноса пластин между отдельными блоками FOUP и модулями кластерного инструмента без развакуумирования. Система может быть дополнена в любое время путем интеграции с модулями, в которых осуществляются другие технологические процессы, а также предварительная и пост-обработка.
Области использования: оксиды, нитриды и металлы для производства интегральных схем:
- оксидные плёнки разделителей
- стэковые оксидные пленки диэлектриков (InterPoly Dielectric, IPD)
- туннелирующие плёнки оксидов
- блокирующие плёнки оксидов
- пассивирующие плёнки
- плёнки, заполняющие зазоры
- герметизирующие слои
- барьерные плёнки меди и затравочные слои.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Picosun |
| Страна производитель | Финляндия |
- Цена: Цену уточняйте
