Вакуумный кластерный инструмент PICOSUN PICOPLATFORM 200
- Под заказ
Отправка с 13 июня 2026Цену уточняйте
+375 (29) 370-80-76
Вакуумный кластерный инструмент PICOSUN PICOPLATFORM 200
Цену уточняйте
Под заказОписание
Характеристики
Информация для заказа
Вакуумный кластерный инструмент PICOPLATFORM™ 200 продолжает идею уникальной масштабируемости и модульности всех инструментов АСО PICOSUN™. Кластер состоит из нескольких отдельных реакционных камер для АСО, интегрированных вокруг центрального модуля загрузки и контроля, основанного на вакуумном роботизированном манипуляторе Brooks MX400.
Кластер PICOPLATFORM 200 может быть оборудован загрузочным шлюзом для работы с одиночными подложками или автоматизированным покассетным загрузчиком, не нарушая при этом вакуумирование реакционных камер АСО. Также возможно подключение кластера к модулям, осуществляющим другие технологические процессы осаждения, и к системам предварительной обработки и постобработки.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Picosun |
| Страна производитель | Финляндия |
- Цена: Цену уточняйте
