Описание
Характеристики
Информация для заказа
Серия PICOSUN Р-300 определяет новую эру АСО производств в промышленных масштабах. Оборудование серии PICOSUN Р-300 является полностью автоматизированным, оптимизировано для промышленных производств с возможностью объединения в кластеры.
Позволяет обрабатывать сотни подложек в час без нарушения самых строгих стандартов промышленного качества и воспроизводимости. Получены превосходные показатели однородности плёнок в пакетных процессах (стандартное отклонение толщины < 1 % для пленок Al2O3 на кремниевых подложках до 300 мм) и уровень примесных частиц до 1-2 частиц (>70 nm) на подложке. Наша поддержка АСО процессов гарантирует плавную оптимизацию процессов и интеграцию в демонстрационную фазу и фазу увеличения производства.
| Основные | |
|---|---|
| Производитель | Picosun |
| Страна производитель | Финляндия |
- Цена: Цену уточняйте


Отправка с 13 июня 2026