Установка быстрой термической обработки Centrotherm RTP 150

Описание:

• Контроль давления (вакуум/газовая среда)
• Высокая гибкость: кремниевые пластины или графитовые подложкодержатели диаметром до 6"
• Сколь угодно долгое протекание технологического процесса при температуре 7500С
• Скорость нагрева до 150 К/с
• Высокая равномерность температурного профиля, т.к. каждая лампа может быть настроена индивидуально
• Разброс установленной температуры между запусками ±0.5 К
• Длинный жизненный цикл ламп обеспечивает высокое время безотказной работы установки

Установка быстрой термической обработки RTP 150 удовлетворяет высочайшим требованиям научно-исследовательских организаций и нуждам предприятий с крупносерийным производством.

Установка RTP 150 включает вакуумную камеру с интегрированной самообучающейся системой управления давлением от 1 до 50 мбар. Система нагрева ламп обеспечивает гибкую регулировку и контроль равномерности нагрева. Прецизионное управление температурой защищено запатентованной Пирометрической Системой Измерения и Управления Температурой.

Установка RTP 150 поддерживает использование пластин диаметром до 6" и 6" графитовыми подложкодержателями (с 5" пластинами). Пирометрическая Система Измерения и Управления Температурой обеспечивает смену размера и типа подложки (кремниевая/графитовая) менее чем за 15 минут. Данная система позволяет измерять температуру в пределах от текущей до 11500 С без переключения с термопар на пирометры. Возможно управление температурой не ниже, чем до 1500 С. Установка RTP 150 обладает высокой эффективностью и компактностью, обеспечивая высокую гибкость технологического процесса, необходимую для различных областей применения. 

* система имеет возможность подключения к цепям электропитания, принятым стандартами РФ

Области применения:

• Отжиг
• Сухое окисление
• Отжиг металлических контактов
• Активирование легирующих примесей
• Отжиг стока/истока (транзистора)
• Отжиг защитного покрытия (металла)

* система имеет возможность подключения к цепям электропитания, принятым стандартами РФ

Опции

• Система измерения температуры для составления профиля
• Робот с двумя манипуляторами для автоматической загрузки/выгрузки